刀口法测mtf_刀口法测量光束平行性的检测方法及其装置与流程

本发明属于激光光束的检测技术领域，具体涉及刀口法测量光束平行性的检测方法及装置。

背景技术：

光学系统的光束平行性对聚焦光斑具有一定的影响，同时也会影响光学系统的成像质量。因此，光束平行性的检测已经研究了几十年，截至目前仍然是光学检测领域中的热点研究问题。随着科学技术的发展，光学仪器与装置在性能上有很大的提高，对于光学仪器系统的光束平行性,提出了更高的要求。

目前,国内外已经对光学系统光束平行性的检测有了一定的研究。常用的检测方法有夏克-哈特曼法,其原理简单,便于操作,测量结果可靠。缺点在于测量较大口径时,光路中使用的光阑造价高且制作困难，不适用于一般光学系统的光束检测。剪切干涉法需要引入大小与被检系统口径相当的剪切板。五棱镜法其优点是测量精度高，缺点是受口径大小影响。

技术实现要素：

为了克服现有检测方法的不足，本发明提出一种光学检测方法及装置，结构简单，易于操作，对测量光束范围和光斑尺寸没有限制，通用性强，对环境要求低，可对激光光束的平行性进行有效检测。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：一种测量光束平行性的检测方法，包括下述步骤，使用刀口沿垂直于光束的方向对光束的至少两个位置进行横向切割，对每一个位置进行切割时，缓慢移动刀口，观察光束的变化，并且纪录光束恰好刚被遮挡、恰好完全被遮挡两种情况下刀口的位置信息，通过计算得到光束的发散角，实现对光束平行性的检测。

为了实现上述方法，本发明提供一种测量光束平行性的检测装置，包括沿光轴设置的激光器、扩束准直系统及光功率计