做光刻模板有时候需要用Ledit画复杂的图形,而Ledit软件本身只提供基本图形。本文介绍如何用Ledit提供的Macro画复杂图形的版图,其基本原理是将复杂图形看作是多边形,然后用C程序生成多边形的顶点坐标提供给Ledit软件。下面以画椭圆为例。
取椭圆长轴a,短轴b,则有c^2 = a^2-b^2,于是离心率e=c/a,焦点到准线距离p = a^2/c-c。在极坐标下,椭圆上任意点坐标为P(ρ, θ),满足极坐标方程ρ=e*p/(1-e*cosθ)。然后极坐标转换为直角坐标,x=ρcosθ,y=ρsinθ。
第一步准备c语言程序,可以从链接[1]下载,可以用记事本或者其它文本编辑器打开。程序中包含drawRowland函数,功能是指定绘画图层,和执行绘画函数。
程序中包含第二个函数drawC_1,如下图,该函数的目的是生成多边形的顶点坐标,读者可以根据自己的需要修改该函数中①和②部分。①是准备存储点xy坐标的数组,和椭圆的一些参数(取c=400,b=300,a=500)。②是通过椭圆的极坐标方程,得到椭圆上点的极坐标并转化为直角坐标(也可以直接使用椭圆的直角坐标方程得到点直角坐标)。③是程序在Ledit设置顶点坐标。