mpu6050 z轴校准_三维压电扫描台用于显微镜探针校准

显微镜中的探针校准通常需要一个中心通孔（用于光线通过）。 P15系列三维压电扫描台具有66×66mm的自由中心孔，非常适合透射光等此类相关应用。运动行程为300μm/轴，具有较高的直线度，平台内部采用有限元分析（FEA）优化的线切割挠曲铰链结构，使其具有更高的刚度和直线度。可选择集成的闭环反馈传感器保证纳米精度的长期高精度样品调整。

P15系列压电扫描台还可以轻松与其他机械定位系统结合使用。它们适合从光学研究到OEM系统的各种应用。

特点

•XYZ三维直线运动

•通孔尺寸66×66mm

•设计紧凑、性能卓越

•固态铰链确保高可靠性

•纳米级/亚纳米级高分辨率

•行程范围300μm/轴

•可选配闭环传感器

阶跃时间

闭环上升曲线，满行程阶跃时间60ms。

技术参数

型号：P15.XYZ300

运动自由度：XYZ

行程范围（0~120V）：240μm/轴

行程范围（0~150V）：300μm/轴

闭环传感器：SGS

通孔尺寸：66×66mm

闭/开环分辨率：13/6 nm

闭环线性度：0.2%F.S.

闭环重复定位精度：0.1%F.S.

俯仰/偏航/滚动：<30μrad

推/拉力：50/10N

运动方向刚度：0.1N/μm

空载谐振频率（X/Y/Z）：450/550/120Hz

闭/开环空载阶跃时间：60/10ms

承载能力：0.5kg

静电容量：10.8μF/轴

材质：铝

重量：900g

线长：1.5m

应用案例：