放大器非线性失真研究装置设计报告_压电MEMS入耳式耳机的设计与电声分析

第二届AES国际耳机技术大会刚于2019年8月29日在美国加利福尼亚州旧金山结束。

AES国际耳机技术大会

会议中有发表一篇论文“Design and electroacoustic analysis of a piezoelectric MEMS in-ear headphone”(压电MEMS入耳式耳机的设计与电声分析)。作者是来自德国的Andreas Männchen等人。

文中深入探讨了带有压电MEMS扬声器的入耳式耳机演示样品。演示样品包括，MEMS扬声器，耳机外壳，信号处理和应用特定的功放。研究的主要焦点在于MEMS耳机的详尽电声分析，包括电阻抗测量，各种声学测量以及压电MEMS驱动器的热行为研究。结果表明该技术在入耳式应用中具有很高的潜力，并认为在未来的改进中可以提供更好的声学性能。

压电MEMS扬声器样品简图

4片三角形的悬臂压电薄片，组成一个4mm*4mm的正方形。每片压电片由15um厚的多晶硅和2um的PZT(压电锆钛酸铅)组成。

压电片之间留9um间隙，以便机械解耦，并提供尽可能大的驱动位移。间隙非常窄，考虑