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广东气体质量流量控制器厂家—中山凯美电子有限公司射频电源区别于其他直流电源，偏压电源，中频电源的优势，射频溅射是适用于各种金属和非金属材料的一种溅射沉积方法。由于直流溅射(含磁控溅射)在溅射靶上加负电压，因而就只能溅射导体材料，溅射绝缘靶时，由于放电不能持续而不能溅射绝缘物质。

如图1所示，在半桥式射频电源中，考虑开关管的导通阻抗Rds，电感的有效串联电阻(equivalent series resistance, ESR)Rl和电容的有效串联电阻Rc，则其总的寄生阻抗为R=Rds+Rl+Rc，因此总的谐振电阻为Rt=RL+R。因此Lr和Cr的值可通过公式(9),公式(10)计算得出[12-14]。其中，Q为串联谐振电路品质因数，本文Q取5[15]；f为开关频率，为2 MHz。气体质量流量控制器Lm、Cm是阻抗匹配电感和电容，可通过公式(11)、(12)计算得出[12-14]。实际应用中，由于寄生阻抗R和负载RL已知，利用Smith圆图可直接得到Lm、Cm的值[16]。

射频信号源采用STM32单片机产生两路互补频率为2 MHz、幅值为3.3 V、占空比50%的方波信号，如图5所示。由表1可知，可选择同一款驱动芯片将单片机产生的方波信号的幅值放大至12 V，从而驱动开关管。第3节已对驱动芯片进行了描述。广东气体质量流量控制器GaN器件选用Transphorm公司生产的TPH3202PD，TO-220封装；Si器件选用IXYS公司生产的IXFH6N100F，TO-247封装。

什么是微波网络，气体质量流量控制器厂家—中山凯美电子有限公司微波网络理论主要研究微波电路的分析和设计方法，它与电磁场理论同为微波领域中的主要理论基础。微波网络是指具有若干输出、输入端口的任意形状及结构的区域，其内为由波导或传输线连接的微波元器件构成的功能性微波电路或系统。复杂的微波网络由许多简单的微波网络所组成，后者有不同的分类方法。

传统线性功率放大器的工作频率很高，但相对频带较窄，射频功率放大器一般都采用选频网络作为负载回路。射频功率放大器可以按照电流导通角的不同，分为甲(A)、乙(B)、丙(C)三类工作状态。气体质量流量控制器甲类放大器电流的导通角为360°，适用于小信号低功率放大，乙类放大器电流的导通角等于180°，丙类放大器电流的导通角则小于180°。乙类和丙类都适用于大功率工作状态，丙类工作状态的输出功率和效率是三种工作状态中***高的。射频功率放大器大多工作于丙类，但丙类放大器的电流波形失真太大，只能用于采用调谐回路作为负载谐振功率放大。由于调谐回路具有滤波能力，回路电流与电压仍然接近于正弦波形，失真很小。

射频PA的效率提升技术，晶体管的效率都有一个理论上的极限。这个极限随偏置点(静态工作点)的选择不同而不同。气体质量流量控制器另外，外围电路设计得不好，也会大大降低其效率。目前工程师们对于效率提升的办法不多。这里仅讲两种：包络跟踪技术与Doh***y技术。