气体质量流量控制器(MFC)是对气体进行流速测量和控制的一种设备。
主要技术指标
- 出厂通常用氮气标定
- SCCM(标准毫升/分) SLM(标准升/分)
- F.S(Full Scale)满量程值
- SLPM(标准升/分)
气路接头形式
很关键的一点时,螺母和接头之间有两个小东西,称为卡套。他们是用来做气密性的。
显示数据类型
包括但不限于以下数据:
- 瞬时流量
- 累计流量
- 流量系数(系数的更改可以使国产流量计的精度,接近进口流量计的精度)
- 流量零点设置
- 温度
注意事项
- 如果气体不干净,有粉尘、液体和油污时,记得加装过滤器
- 安装时最好保持安装面水平
- 气体标定默认是安装氮气进行标定的
其它
- 一台MFC的价格高达6000,用在气体采样设备里,实在是太贵了。在确定流速后(如:250ml/min),我们将会采用不锈钢管自制定量环,价格便宜,也适用。类似下图中的形式。