气体质量流量控制器（MFC）

气体质量流量控制器（MFC）是对气体进行流速测量和控制的一种设备。

主要技术指标

• 出厂通常用氮气标定
• SCCM（标准毫升/分） SLM（标准升/分）
• F.S（Full Scale）满量程值
• SLPM（标准升/分）

气路接头形式

很关键的一点时，螺母和接头之间有两个小东西，称为卡套。他们是用来做气密性的。

显示数据类型

包括但不限于以下数据：

• 瞬时流量
• 累计流量
• 流量系数（系数的更改可以使国产流量计的精度，接近进口流量计的精度）
• 流量零点设置
• 温度

注意事项

• 如果气体不干净，有粉尘、液体和油污时，记得加装过滤器
• 安装时最好保持安装面水平
• 气体标定默认是安装氮气进行标定的

其它

• 一台MFC的价格高达6000，用在气体采样设备里，实在是太贵了。在确定流速后（如：250ml/min），我们将会采用不锈钢管自制定量环，价格便宜，也适用。类似下图中的形式。