一直想写篇关于白光干涉仪的文章,那就先写这个回答吧
白光干涉仪分为三种,一种是以逐层扫描为原理的白光干涉扫描术,第二种是假设同调性局部近似的白光相移干涉术,第三种是白光消色差相移术。
这里主要讲白光干涉扫描术,末尾会稍加简介另外两种白光干涉术。
简而言之:白光干涉扫描术利用PZT逐层扫描白光干涉波包的峰值讯号获得每个像素点对应的高度信息,还原出三维表面形貌。
接下来细讲。
1.什么是白光
白光在干涉仪中的定义通常是较大频宽组分构成的光源,视觉上人们看到的是白色。其具有同调性/相干性差的特点,干涉现象不是那么容易被找到,且产生干涉的范围通常只有数微米。如下图所示,若干束不同频率的电磁波产生干涉(左),产生的干涉电磁波会形成一个干涉波包(右)。
光源的同调长度(相干长度,英文都是coherence length)计算通常可以用下面这条公式:
其中
为同调长度,
为波长,
为频宽,
为波长的带宽。这是一个估算公式,可以估算出该光束理想状况下,沿光传播方向上能够形成干涉条纹的空间长度。
而在白光干涉的光束中,干涉条纹的明暗变化并非均匀的,如上图所示。这一点应该很好理解,理