半导体通讯标准EAP、SECS/GEM视频介绍

GEM（或SECS / GEM）是由半导体设备材料倡议制定的一组连接标准。这些标准用于定义自动化设备与主机工厂网络之间的通信，从而实现智能工厂制造。

SECS是半导体设备通信标准的首字母缩写。GEM是指SEMI连接标准E30，被定义为制造设备通信和控制的通用模型

SECS/GEM介绍书，目前见过最好的资料

通信

在智能工厂中，GEM在主机和设备上都实现了。该设备在其必须实现并符合SEMI E30的一台计算机上运行软件。工厂运行主机软件，与设备接口建立通信。

为了利用接口，主机系统必须实施GEM标准，为设备行为期望设定明确的期望。

SECS/GEM 协议网站 www.secsgem.cn

控制

GEM标准概述了一个控制状态模型，用于定义主机和设备之间的合作水平。设备提供三个基本级别的主机控制，这些主机控制决定了主机控制和监视设备的能力。主机控制的级别可以通过设备上的用户界面指定。

当主机控制设备时，它能够发送“开始”，“停止”，“暂停”，“恢复”和“ABORT”等命令来控制设备的处理。

在半导体工厂中，主机或操作员可以控制设备的处理。让双方同时控制设备会带来问题。当一方控制设备时，另一方可以执行的操作应受到限制。例如，如果操作员暂停处理，则不应允许主机发送命令以恢复处理或启动新作业。提供 GEM 控制状态是为了防止发生这些类型的问题。

控制状态如何工作？

控制状态提供三个基本级别的控制。每个级别描述主机和设备端可以执行哪些操作。

远程

• 主机可以尽可能充分地控制设备。
• 设备可能会对当地操作员控制设备的能力施加限制，但这不是标准的要求。主机必须能够处理操作员在设备上调用的意外命令。
• 主机使用 GEM 远程命令来调用设备上的命令。

当地

• 操作员可以尽可能地控制设备。
• 主人可以完全访问信息。主机可以使用其他 GEM 功能（如收集事件、跟踪和状态数据收集）收集数据。
• 对主机如何影响设备操作施加了限制：
  • 禁止启动处理（例如 START）或导致物理移动的远程命令。在处理过程中，也会禁止影响处理的远程命令（停止、中止、暂停、恢复）。
  • 可能允许其他不启动处理、导致物理移动或影响处理的远程命令。
  • 在处理过程中，禁止主机修改影响该过程的任何设备常量。
  • 不影响当前正在运行的进程的设备常量可能会更改。
  • 所有设备常数在未加工时都是可变的。

离线

• 操作员可以完全控制设备。
• 主机无法控制设备操作，信息收集能力非常有限。
• 设备将从主机接受的唯一消息是：
  • 用于建立 GEM 通信的消息 （S1F13/F14）。
  • 请求激活联机控制状态 （S1F17），但仅当当前活动状态为主机脱机（控制状态模型上的转换 #11）时。
  • S1F2“你在那里回应”，而试图上网。
• 设备可能发送到主机的唯一主要消息是：
  • 用于建立通信的消息 （S1F13）。
  • S9Fx 消息，但仅用于响应设备在脱机时（即 S1F13 和 S1F17）通常响应的消息。
  • S1F1 “您在那里吗 请求”在进入“尝试在线”子状态时发送到主机。此消息用于从主机获取转换到联机状态（转换 #5）的权限。
• 脱机时不会假脱机任何消息。

控制状态模型的设计方式是让设备操作员比主机更好地控制状态机。这可以保护操作员免受从主机启动的意外状态更改的影响。

• 设备操作员可以通过操作员界面选择哪个在线子状态处于活动状态。主机端无法选择哪个联机子状态处于活动状态。
• 设备端可以将控制状态模型置于设备脱机状态（转换 #6）。处于此状态时，主机无法请求联机。
• 主机端可以将控制状态置于主机脱机状态（转换 #10），但设备端可以拒绝此请求。当处于主机脱机状态时，设备端始终可以尝试联机，方法是首先转换到设备脱机状态（转换 #12），然后尝试联机（转换 #3）。

操作员界面要求

设备必须提供一种显示当前控制状态的方法，以使操作员知道谁在控制设备。

设备必须提供一个瞬时开关以启动到“设备脱机”状态的转换，并提供另一个开关以尝试从“设备脱机”状态联机。这可能是前面板上的硬件开关，但通常使用按钮控件在软件中实现。

设备必须提供一个离散的双位置开关，操作员可以使用该开关来指示所需的在线子状态（本地或远程）。这可能是前面板上的硬件开关，但通常使用按钮控件在软件中实现。如果在软件中实现，则该设置必须保存在非易失性存储器中。

用例的范围从为实现或功能编写测试，在开发环境中进行模拟到完整的主机/设备实现。软件包的某些部分可以单独使用，例如HSMS可以在没有SECS-II的情况下使用，或者流和功能可以与不同的网络堆栈一起使用。

目前不支持通过串行端口（SECS-I，SEMI E04）进行通信。只有以太网（高速交换机、SEMI E37）可用。

SECS/GEM

SECS/GEM是半导体的设备接口协议，用于设备到主机的数据通信。它通常用于半导体，TFT-LCD和电子行业，因为这些行业的设备大多来自不同的供应商，缺乏统一的通信标准。通过引入SECS/GEM，制造能够收集更多信息，使设备和主机中心能够畅通无阻地通信，从而实现智能工厂自动化。

SEMI设备通信标准第2部分（SECS-II）定义了智能设备和主机之间交换的消息的解释细节。本规范是与日本电子工业发展协会设备通信委员会12合作制定的。

本标准旨在与SEMI E4设备通信标准（SECS-I）完全兼容。它还旨在允许与备用邮件传输协议兼容。消息传输协议要求的详细信息包含在中。

本标准旨在将消息定义到如此详细的程度，以便只需对单个设备知之甚少即可构建一些一致的主机软件。反过来，设备可以在对主机的最低限度的了解下构建。

标准中定义的消息支持IC制造所需的最典型活动。该标准还规定了特定于设备的电文的定义，以支持标准电文未涵盖的活动。虽然某些活动可以由主机中的通用软件处理，但预计可能需要特定于设备的主机软件来支持设备的全部功能。

SECS-II为设备和主机之间使用消息传输协议（如SECS-I）交换的消息提供了形式和含义。

SECS-II定义了以消息形式在设备和主机之间传递信息的方法。这些消息被组织到称为流的活动类别中，其中包含称为函数的特定消息。对信息和相应数据传输的请求就是这种活动的一个例子。

SECS-II将消息的结构定义为称为项目和项目列表的实体。此结构允许自描述数据格式，以保证对消息的正确解释。

消息的交换由一组用于处理消息的规则（称为事务协议）控制。事务协议对任何 SECS-II 实现都提出了一些最低要求。