EAP设备自动化系统基本功能与概念

EAP（Equipment Automation Programming）实现了对生产线上机台的实时监控，是工厂自动化不可缺少的控制系统。EAP系统与FAB中的机台紧密相关，系统的设计与开发必须与生产线的机台实际生产流程相一致，才能达到自动化控制机台生产的目的。

EAP通过SECS/GEM国际标准协议与机台进行数据传输。SECS/GEM是半导体设备（半导体行业称设备为机台）必须遵循的一种国际通信协议。EAP就是通过此通讯协议与设备通信、传输数据、发送指令控制设备按照预先定义的流程进行生产加工，达到对设备远程控制和状态监控，实现设备运行的自动化。

提供如下EAP具体功能：

1. RTM/FMB - Real Time Monitoring

2. RMS – Recipe Management System

3. OEE – Overall Equipment Efficieny

4. CAM – Consolidated Alarm Management

5. UPH