集成电路(IC) & 摩尔定律

一、发展简史

1940年代~1960年代中期,计算机都由独立部件组成,叫“分立元件”,然后不同组件再用线连在一起。如果想提升性能,就要加更多部件,这导致更多电线,更复杂,这个问题叫“数字暴政”。
(分立元件的定义:只有一个电路元件的组件,可以是被动的(电阻,电容,电感)或主动的(晶体管或真空管))

1950年代中期,晶体管开始商业化(市场上买得到),开始用在计算机里。晶体管比电子管更小更快更可靠,但晶体管仍然是分立元件。

1959年,IBM把709计算机从原本的电子管全部换成晶体管,诞生的新机器IBM 7090,速度快6倍,价格只有一半。晶体管标志着“计算2.0时代”的到来。(未解决“数字暴政”的问题)

1959年,Jack Kilby用锗来做集成电路,锗很稀少而且不稳定。Robert Noyce 的仙童半导体公司用硅将集成电路变成了现实,硅的蕴藏量丰富,占地壳四分之一,也更稳定可靠。所以Noyce被公认为现代集成电路之父。开创了电子时代,创造了硅谷(仙童公司所在地)。
(与其把多个独立部件用电线连起来,拼装出计算机,不如把多个部件包在一起,变成一个新的独立组件,这就是集成电路(IC,Integrated Circuits)

起初,一个集成电路只有几个晶体管,即使只有几个晶体管,也可以把简单电路封装成单独组件。可以将这些集成电路进行组合设计,创造更大更复杂的电路,这是面临一个问题:集成电路之间还是需要连起来
工程师再度创新:印刷电路板,简称PCB(printed circuit boards)。它通过蚀刻金属线的方式,将两个组件连接到一起。将PCB和IC结合使用,可以大幅减少独立组件和电线,做到相同的功能的同时更小、更便宜、更可靠。

即使组件很小,塞5个以上的晶体管还是很困难,为了实现更复杂的设计,需要全新的制作工艺——“光刻”登场。就是用光把复杂图案印到材料上,比如半导体。它只有几个基础操作,但可以制作出复杂电路。

二、光刻

1、晶圆(硅)——长的像薄饼干一样,用晶圆做基础,把复杂金属电路放上面,集成所有东西。
2、在硅片顶部加一层薄薄的氧化层,作为保护层。
3、再加一层特殊化学品,叫“光刻胶”。(光刻胶被光照射后,会变得可溶,可以用一种特殊化学药剂洗掉)
4、再加光掩膜(类似于胶片,上面印有要转移到晶圆上的图案),把光掩膜盖到晶圆上。
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5、用强光照射,挡住光的地方,光刻胶不会变化。光照到的地方,光刻胶会发生化学变化,洗掉它之后,暴露出氧化层。
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6、用另一种化学物质——通常是一种酸,可以洗掉“氧化层”露出的部分,蚀刻到硅层。注意:氧化后层被光刻胶保护住了。
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7、为了清理光刻胶(未被照射的部分),我们用另一种化学药品洗掉它。
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8、现在硅又暴露出来了,我们想修改硅露出来的区域,让它导电性更好,所以用一种化学过程来改变它,叫“掺杂”。“掺杂”通常用高温气体来做,比如“磷”渗透进暴露出的硅。改变电学性质。
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8、还需要几轮光刻法,来做晶体管。过程基本一样,先盖氧化层,再盖光刻胶。然后用新的光掩膜,这次图案不同,在掺杂区域上方开一个缺口。
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9、洗掉光刻胶(照射的部分),再洗掉氧化层。
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10、再洗掉光刻胶(未被照射的)
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11、然后用另一种气体掺杂,把一部分硅转成另一种形式,为了控制深度,时机很重要,不能超过之前的区域。
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12、现在所有需要的组件都有了。最后一步,在氧化层上做通道,这样可以用细小金属导线,连接不同晶体管。再次用光刻胶和光掩膜,蚀刻出小通道。
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13、洗掉光刻胶(照射的部分),再洗掉氧化层,再洗掉光刻胶(未被照射的部分)。
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14、现在用新的处理方法,叫“金属化”,放一层薄薄的金属,比如铝或铜。但我们不想用金属盖住所有东西,我们想蚀刻出具体的电路,所以又是类似的步骤:用光刻胶+光掩膜,然后溶掉暴露的光刻胶,暴露的金属。
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洗掉光刻胶(照射的部分)
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洗掉暴露的金属化
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洗掉光刻胶(未被照射的部分)
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晶体管终于做好了,它有三根线,连接着硅的三个不同区域。每个区域的掺杂方式不同,这叫双极型晶体管(BJT) 🚀。(这种晶体管的工作,同时涉及电子和空穴两种载流子的流动,因此它被称为双极性的,所以也称双极性载流子晶体管。这种工作方式与诸如场效应管的单极性晶体管不同,后者的工作方式仅涉及单一种类载流子的漂移作用。两种不同掺杂物聚集区域之间的边界由PN结形成。)

用类似步骤,光刻可以制作其他电子元件,比如电阻和电容,都在一片硅上。而且互相连接的电路也做好了。
之前的例子只做了一个晶体管,但现实中光刻法一次会做上百万个细节。导线上下交错,连接各个元件

尽管可以把光掩膜投影到一整片晶圆上,但光可以投射成任意大小。就像投影仪投满屏幕一样。我们可以把光掩膜聚焦到极小的区域,制作出非常精细的细节。
一片晶圆可以做很多IC,整块都做完后,可以切割然后包进微型芯片,微型芯片就是在电子设备中小长方体。记住芯片的核心都是一小片IC。
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三、摩尔定律

1960年代初,IC很少超过5个晶体管,因为塞不下。
1960年代中期,市场上开始出现超过100个晶体管的IC。

1965年,戈登·摩尔看到了趋势:每两年左右,得益于材料和制造技术的发展,同样大小的空间,能塞进两倍数量的晶体管。这叫摩尔定律。然而这个名字不太对,因为它不是定律,只是一种趋势。但它是对的。

1968年,罗伯特·诺伊斯和戈登·摩尔联手成立了一家新公司,结合Intergrated(集成)和Electronic(电子)两个词,取名Intel,如今最大的芯片制造商,同时也是芯片设计公司。

1971年,Intel 4004 CPU是第一个用IC做的处理器,也叫微型处理器。它有2300个晶体管。开启了计算3.0。

1980年,3万个晶体管
1990年,100万个晶体管
2000年,3000万个晶体管
2010年,10亿个晶体管
iPhone 7的A10处理器有33亿个晶体管,面积仅有1cm×1cm

1970年代开始,超大规模集成(VLSI)软件,用来自动生成芯片设计。用比如“逻辑综合”这种技术,可以放一整个高级组件,比如内存缓存。软件会自动生成电路,做到尽可能高效。许多人认为这是计算4.0的开始。

晶体管更小密度更高的好处:
1、晶体管越小,要移动的电荷量就越小,能更快切换状态,耗电更少。
2、电路更紧凑,还意味着信号延迟更低,导致时钟速度更快。

进一步做小,会面临2个大问题:
1、用光掩膜把图案弄到晶圆上,因为光的波长,精度已达到极限。所以科学家在研制波长更短的光源,投射更小的形状。
2、当晶体管非常小,电极之间可能只距离几个原子,电子会跳过间隙,这叫:量子隧道效应。如果晶体管漏电,就不是好开关,科学家和工程师在努力找解决办法,实验室中已造出小至1纳米的晶体管,能不能商业量产仍然未知,未来也许能解决。

四、参考资料

[1]: 计算机科学速成课
[2]: 从真空管时代到CMOS时代
[3]: 视频:从沙子到芯片

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