gauge vacuum_真空计(vacuum gauge)介绍

真空计

(vacuum gauge)

介绍

用于测量低于大气压的稀薄气体总压力的仪表，又称真空规。真空计的测量单位沿用压力测

量单位，压力的国际单位为帕

(Pa)

，曾使用的单位还有托

(Torr)

和毫巴

(mbar)

等。

自

1643

年意大利物理学家

E.

托里拆利进行大气压力实验以来，

先后出现许多种真空计。

最早

出现的是Ｕ形管真空计

,

它只能用来测量粗真空和低真空。

1874

年

,H.G.

麦克劳发明的压缩式

真空计

,

解决了低真空和高真空的绝对压力的测量，

但仍不能进行连续测量。

1906

年，

M.

皮喇

尼发明电阻式真空计，解决了工业生产中的低真空测量问题。继而，

O.E.

巴克利于

1916

年又

发明电离真空计

,

这在当时不仅解决了

10-1

～

10-5

帕的高真空测量

,

而且促进了油扩散泵等真

空设备的发展和应用。

1937

年，

F.M.

潘宁发明冷阴极电离真空计，适用于有大量放气和经常