光学测量仿真软件：Zygo_（5）.Zygo的数据处理与分析方法

数据处理与分析方法

在光学测量仿真软件Zygo中，数据处理与分析是关键的步骤，它直接影响到测量结果的准确性和可靠性。本节将详细介绍Zygo中的数据处理与分析方法，包括数据导入、预处理、滤波、表面分析、缺陷检测等环节。我们将通过具体的例子来说明如何在Zygo中进行这些操作。