使用测量方法估算微带线介质板的介电常数和高度

使用测量方法估算微带线介质板的介电常数和高度

估算MMIC的PDK的介质板的介电常数和高度

本文的ADS工程积分下载（只含有DEMO KIT PDK）：使用测量方法估算微带线介质板的介电常数和高度-ADS工程

最近在玩MMIC的PDK，发现对于一些厂家的PDK中的微带线，我们不知道其对应的介质板的介电常数和高度等参数，这就给设计带来了困难。

例如对于下面0.25um的GAN的PDK和ADS自带的DEMO KIT的PDK，可以看到只有DEMO KIT的PDK给出了介质高度和介电常数，Win的给出了板子高度（4um可能是覆铜厚度？），ITRISEMI啥都没有。我仔细看来Win文档，我没有找到相关的说明，或许是我没有看到。

比如我要从理论上设计MMIC威尔金森功分器，我就需要得到特性阻抗Z0的90度微带线所对应的实际长宽，如果不知道介质板的介电常数和高度参数，我就只能在ADS里面使用优化求，非常麻烦。

1、使用优化估算微带线实际的特性阻抗

在此以ADS自带的DEMO KIT为例进行分析，其他的PDK由于版权问题没法分享。假设我需要知道特性阻抗为80欧姆所对应的微带线的实际宽度是多少，我需要构建下面的原理图：

可以看到，需要先设置好两个端口的阻抗MY_Z0为80欧姆，然后设置微带线的宽度为OPTIM变量，微带线的长度无关紧要，可以随意设置。优化的目标是S11=0，我们知道，如果微带线的特性阻抗是80欧姆，那么整个电路处于匹配状态，端口的S11、S22参数非常好，接近于0。运行OPTIM优化。得到结果：

可以看到，当微带线宽度为18.2315um时匹配情况非常好，因此可以认为微带线80欧姆所对应的宽度是18.2315um。可以看到此时的S11、S22效果：

当热，由于ADS的DEMO KIT的微带线宽度最多是50um，而50欧姆微带线对应的宽度是70多um，因此这个PDK中没有50欧姆的微带线，真的难受了。DEMO KIT提供了介电常数是12.9，基板厚度为100um，使用LineCal计算80欧姆微带线所对应的宽度，可以看到计算的结果为19um左右，和上面的结果相近：

2、观察S21的相位估算基板的介电常数与基板高度

2.1、推算理论

简单说一下理论吧，等效介电常数被视为充满微带线周围空间的均匀介质的介电常数，该均匀介质代替了介质基片和周围的空气。用等效介电常数的概念能计算微带线的相速度：
$$v_p=c/\sqrt{{ϵ}_{eff}}$$
由此推导出波长的表达式：
$$\lambda =\frac{v_p}{f}=\frac{c}{f\sqrt{{\epsilon }_{\mathrm{eff}}}}=\frac{{\lambda }_0}{\sqrt{{\epsilon }_{\mathrm{eff}}}}$$
其中，c是光速，f是工作频率，λ0是电磁波在自由空间的波长。

上面的${\epsilon }_{\mathrm{eff}}$是有效介电常数，其和板材的介电常数${\epsilon }_r$的关系如下：
$${\epsilon }_{\mathrm{eff}}=\frac{{\epsilon }_r+1}{2}+\frac{{\epsilon }_r-1}{2}{\left(1+12\frac{h}{w}\right)}^{-1/2}$$
其中h是介质板的高度，w是微带线的宽度。那么：
$${\epsilon }_r=\frac{{\epsilon }_{\mathrm{eff}}-\frac{1}{2}+\frac{1}{2}{\left(1+12\frac{h}{w}\right)}^{-\frac{1}{2}}}{\frac{1}{2}+\frac{1}{2}{\left(1+12\frac{h}{w}\right)}^{-\frac{1}{2}}}$$

2.2、推算实践

2.2.1、估算有效介电常数${\epsilon }_{\mathrm{eff}}$

如果我们已知微带线的S参数，我们可以通过S参数仿真得到其在各个频率下的电长度，再结合其在自由空间中的波长，就可以求得相对介电常数。下面举例，同样是上面的微带线，微带线长度为3000um，得到的S21的相位为：

可以看到，第一个90°电长度位置大概在9.0GHz，那么推算360°电长度（也就是一个波长）的频率在4*9.0=36.0GHz。这就意味着3000um对应的是在36.0GHz的实际微带线波长。但是仿真不一定要仿真到36GHz，比如我知道1GHz对应的延迟是10度，那么就可以推断出360°对应的频率未1GHz * 360/10=36GHz。

计算36.0GHz的自由空间波长为：
$${\lambda }_0=\frac{c}{f}=\frac{3\times {10}^8}{36\times {10}^9}=\frac{25}{3}\mathrm{mm}$$
那么有效介电常数为：
$${\epsilon }_{\mathrm{eff}}={\left(\frac{{\lambda }_0}{\lambda }\right)}^2={\left(\frac{25}{9}\right)}^2=7.72$$
在此结合式子${\epsilon }_{\mathrm{eff}}=\frac{{\epsilon }_r+1}{2}+\frac{{\epsilon }_r-1}{2}{\left(1+12\frac{h}{w}\right)}^{-1/2}$就能对板子的介电常数${\epsilon }_r$进行求解。但是，在此有两种情况，也就是基板高度h可能是未知的，在此分别进行讨论。

2.2.2、基板高度h已知情况估算${\epsilon }_r$

这样就简单了，对式子${\epsilon }_{\mathrm{eff}}=\frac{{\epsilon }_r+1}{2}+\frac{{\epsilon }_r-1}{2}{\left(1+12\frac{h}{w}\right)}^{-1/2}$进行变换，比如说ADS的DEMO KIT给出了基板高度是100um，我们可以得到${\epsilon }_r$的计算公式为：
$${\epsilon }_r=\frac{{\epsilon }_{\mathrm{eff}}-\frac{1}{2}+\frac{1}{2}{\left(1+12\frac{h}{w}\right)}^{-\frac{1}{2}}}{\frac{1}{2}+\frac{1}{2}{\left(1+12\frac{h}{w}\right)}^{-\frac{1}{2}}}=\frac{7.72-0.5+0.5\times {\left(1+12\frac{100}{18.2315}\right)}^{-0.5}}{0.5+0.5\times {\left(1+12\frac{100}{18.2315}\right)}^{-0.5}}=\frac{7.22+0.5\times {\left(1+12\frac{100}{18.2315}\right)}^{-0.5}}{0.5+0.5\times {\left(1+12\frac{100}{18.2315}\right)}^{-0.5}}=12.97$$
可见和正确的答案12.9非常接近。

2.2.3、基板高度h未知情况估算${\epsilon }_r$和h

需要先计算w/h的值（参考微带线特性阻抗快速计算—根据介质板参数和特性阻抗得到线宽（Matlab代码）），需要分情况考虑，首先，当$\frac{W}{h}\le 2$时的W/h的计算公式为（${\epsilon }_r$为基板的相对介电常数）：

$$\frac{W}{h}=\frac{8e^A}{e^{2A}-2}$$
其中：
$$A=\frac{Z_0}{60}\sqrt{\frac{{\epsilon }_r+1}{2}}+\frac{{\epsilon }_r-1}{{\epsilon }_r+1}(0.23+\frac{0.11}{{\epsilon }_r})$$
当$\frac{W}{h}\ge 2$时的W/h的计算公式为：
W h = 2 π { B − 1 − ln ⁡ ( 2 B − 1 ) + ε r − 1 2 ε r [ ln ⁡ ( B − 1 ) + 0.39 − 0.61 ε r ] } \frac{W}{h}=\frac{2}{\pi}\{B-1-\ln(2B-1)+\frac{\varepsilon_{r}-1}{2\varepsilon_{r}}[\ln(B-1)+0.39-\frac{0.61}{\varepsilon_{r}}]\} hW​=π2​{B−1−ln(2B−1)+2εr​εr​−1​[ln(B−1)+0.39−εr​0.61​]}
其中：
$$B=\frac{377\pi }{2Z_0\sqrt{{\epsilon }_r}}$$

求解时我们回顾已知的量，分别是:
1、微带线80欧姆所对应的宽度是18.2315um
2、有效介电常数为7.72

那么写一个计算代码：

clc

% 通过第一步仿真可知
Z0 = 80;
w = 18.2315;
epsilon_eff = 7.72;

% 未知量
syms epsilon h
% 假设w/h<=2
A=Z0/60*sqrt((epsilon+1)/2)+(epsilon-1)/(epsilon+1)*(0.23+0.11/epsilon);
w_h=8*exp(A)/(exp(2*A)-2);

eqn1=w_h==8*exp(A)/(exp(2*A)-2);
eqn2=epsilon==(epsilon_eff-0.5+0.5*(1+12/w_h)^(-0.5))/(0.5+0.5*(1+12/w_h)^(-0.5));
sol=vpasolve([eqn1 eqn2],[epsilon h]);
if(w/double(sol.h)<=2)
    disp('在w/h<=2的情况下计算成功')
    disp(sol)
else
    B=377*pi/(2*Z0*sqrt(epsilon));
    w_h=2/pi*(B-1-log(2*B-1)+(epsilon-1)/(2*epsilon)*(log(B-1)+0.39-0.61/epsilon));
    eqn1=w_h==2/pi*(B-1-log(2*B-1)+(epsilon-1)/(2*epsilon)*(log(B-1)+0.39-0.61/epsilon));
    eqn2=epsilon==(epsilon_eff-0.5+0.5*(1+12/w_h)^(-0.5))/(0.5+0.5*(1+12/w_h)^(-0.5));
    sol=vpasolve([eqn1 eqn2],[epsilon h]);
    if(w/double(sol.h)>=2)
        disp('在w/h>=2的情况下计算成功')
        disp(sol)
    else
        disp('计算失败')
    end
end

运行结果，可见和理论基本一致的：

3、估算0.25um的GAN的PDK的介电常数

3.1、使用优化估算微带线实际的特性阻抗

得到结果是80欧姆阻抗对应26.2um的宽度：

3.2、观察S21的相位估算基板的介电常数与基板高度

我们实际上知道板子高度为100um，但是为了验证上面的算法，还是假定高度未知，因为不管H知不知道都可以求解出来。

可以看到，第一个180°电长度位置大概在20.8GHz，那么推算360°电长度（也就是一个波长）的频率在2*20.8=41.6GHz。这就意味着3000um对应的是在41.6GHz的实际微带线波长。

上面使用公式计算了有效介电常数，此处可以直接使用代码计算，再加上上面的介电常数、基板高度的计算代码：

clc


% 通过第一步仿真可知
% 微带线的宽度与对应的阻抗
Z0 = 80;
w = 18.2315;
% S21的相位（°）和该相位对应的频率(GHZ)，微带线长度，单位m
S21_PHASE=179.666;
S21_FREQ=20.8;
TLINE_length=3e-3;

% 计算在1个波长的频率
FREQ_lamda=S21_FREQ*360/S21_PHASE;
% 计算自由空间波长lamda0
lamda0=3*1e8/(FREQ_lamda*1e9);
% 计算有效介电常数
epsilon_eff=(lamda0/TLINE_length)^2;


% 未知量
syms epsilon h
% 假设w/h<=2
A=Z0/60*sqrt((epsilon+1)/2)+(epsilon-1)/(epsilon+1)*(0.23+0.11/epsilon);
w_h=8*exp(A)/(exp(2*A)-2);

eqn1=w_h==8*exp(A)/(exp(2*A)-2);
eqn2=epsilon==(epsilon_eff-0.5+0.5*(1+12/w_h)^(-0.5))/(0.5+0.5*(1+12/w_h)^(-0.5));
sol=vpasolve([eqn1 eqn2],[epsilon h]);
if(w/double(sol.h)<=2)
    disp('在w/h<=2的情况下计算成功')
    disp(sol)
else
    B=377*pi/(2*Z0*sqrt(epsilon));
    w_h=2/pi*(B-1-log(2*B-1)+(epsilon-1)/(2*epsilon)*(log(B-1)+0.39-0.61/epsilon));
    eqn1=w_h==2/pi*(B-1-log(2*B-1)+(epsilon-1)/(2*epsilon)*(log(B-1)+0.39-0.61/epsilon));
    eqn2=epsilon==(epsilon_eff-0.5+0.5*(1+12/w_h)^(-0.5))/(0.5+0.5*(1+12/w_h)^(-0.5));
    sol=vpasolve([eqn1 eqn2],[epsilon h]);
    if(w/double(sol.h)>=2)
        disp('在w/h>=2的情况下计算成功')
        disp(sol)
    else
        disp('计算失败')
    end
end

得到的结果如下，由此可以估算板子的介电常数是9.2，板子高度为98um，官方给出的是100um，理论和计算比较接近的：