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RSS订阅原创 晶圆刻蚀工艺简介
蚀刻速率可能会有所不同，具体取决于反应性原子和离子的数量，以及离子携带的导致表面反应发生的能量。作为集成电路技术的缩影的半导体，是通过在硅基板上涂敷所需材料的薄膜、涂敷保护层以及选择性地蚀刻不需要的部分的重复过程来制造的。类似地，半导体制造中的蚀刻工艺使用液体或气体蚀刻剂来选择性地去除不需要的材料，直到在晶片表面上留下所需的电路图案。根据蚀刻工艺中使用的材料，蚀刻分为湿法蚀刻和干法蚀刻。日常生活中的蚀刻，将防腐材料涂在金属板上，然后用锋利的工具雕刻出所需的图案。注：文中图片来源于三星公开资料。
2025-08-14 10:54:04
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原创 晶圆光刻工艺简介
光刻工艺的最后一步，显影，类似于显影照片的过程。请继续关注本系列的下一部分，我们将在其中了解如何通过在蚀刻过程中有选择地去除不需要的材料来在晶圆上创建所需的电路图案。电路图案设计需要制作合适的光掩模版。该图案化基板，通常称为掩模板，光掩模的设计比电路的尺寸大得多，以实现更精确的图案化，并使用透镜以光学方式收缩到晶圆上。在准备好带有 PR 层的晶圆后，它会通过步进器，在步进器中，图案化掩模上的电路设计被投影并用紫外线转移到其上。在这个电子电路图案的画布上，工程师精确设计的图案将最终确定半导体芯片的密度。
2025-08-14 10:38:54
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原创 高端ESC(静电卡盘)有哪些涂层？
在半导体制造设备中，静电卡盘（Electrostatic Chuck, ESC）承担着晶圆吸附固定、热传导、静
2025-06-23 10:18:04
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原创 晶圆电镀的电流效率怎样计算？
什么是电流效率？晶圆电镀中的电流效率表示电流在电镀过程中有多少比例用于了目标金属的沉积，而不是被副反应（如氢气析出、添加剂还原等）消耗。
2025-06-21 08:30:56
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原创 X-Ray，XRD，XRF，XPS有什么区别？
知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，点击加入）里的学员问：晶圆厂中，X射线可以应用在X-Ray，XRD，
2025-05-15 15:39:45
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原创 晶圆厂为什么常用IPA而不用酒精？
知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，点击加入）里的学员问：在12吋/8吋 fab中，是严禁使用乙醇酒精做主清洗剂，为什么？
2025-05-14 10:15:32
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原创 等离子体为什么会发光？
为了便于提高半导体制程能力，Tom组建了一些免费的半导体行业技术交流群，适合工艺，设备，厂务，投资，采购的相关朋友，技术交流，资源对接，大家有兴趣加入的可以加Tom微信，Tom统一拉进群。等离子体，英文名称plasma，是物质的第四态，其他三态有固态，液态，气态。知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049）里的学员问：在PVD镀膜中，可以看到工艺腔室中发出各种颜色的光，请问原理是什么？1，电子：等离子体中通常包含大量自由电子，自由电子是等离子体的主要组成部分，能够引发气体的电离。
2025-04-10 16:27:50
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原创 Cu-Cu混合键合原理
传统的锡球倒装键合通常需要金属熔化又凝固的过程，但铜一铜混合键合采用固态接合，在高温下，铜金属的原子在固态下发生扩散，形成牢固的连接，避免了金属熔化带来的“bridging”问题，确保接合的可靠性。4，接下来，温度升高至300℃至400℃，由于铜的热膨胀系数大于SiO₂，铜的体积会剧烈膨胀，最终使两片晶圆上位置低于氧化硅的铜相互接触，并在高温下扩散进入对方，从而实现铜与铜之间的键合。3，接合后的晶圆在100℃下加热，形成了较强的共价键，共价键的形成使得氧化硅接合面之间的结合更加牢固。
2025-02-28 09:06:08
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原创 cmp工艺中的dishing（凹陷）与ersion（腐蚀）
Tom组建了免费的半导体行业技术交流群，适合工艺，设备，厂务，投资，采购的朋友，群内会将各类半导体行业信息汇总，利于大家学习，强烈建议加Tom微信，Tom统一拉进群。金属比介电层软，因此在CMP过程中，金属区域的去除速率通常比介电层快，导致金属表面出现凹陷。如上图，dishing是cmp后的介质层与Cu层最低点形成的凹坑。1，金属层变薄，导致导线的阻抗变化，从而影响电气性能，特别是在高频应用中，信号的传输质量可能会大幅下降。Erosion一般发生在较细的金属线周围，抛光液对金属线，介质层均有腐蚀。
2025-02-25 15:07:52
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原创 石英在半导体设备中的应用
Tom组建了免费的半导体行业技术交流群，适合工艺，设备，厂务，投资，采购的朋友，群内会将各类半导体行业信息汇总，利于大家学习，强烈建议加Tom微信，Tom统一拉进群。低端w(SiO2)≥99.9%(3N)，中端w(SiO2)≥99.99%(4N)，中高端w(SiO2)≥99.995%(4N5)，高端w(SiO2)≥99.998%(4N8)其中石英砂来源于三种途径：1，天然石英 2，水晶石 3，人造石英。石英矿==》石英砂==》石英的管，棒，碇==》石英件。1，石英炉管，是晶圆进行高温加热过程的区域。
2025-02-12 15:13:15
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空空如也
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