什么是单流体喷嘴与二流体喷嘴？

知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049）里的学员问：二流体喷嘴有什么用？原理是什么？为什么半导体清洗设备常用二流体喷嘴？

什么是喷嘴？

喷嘴是半导体湿法设备中的关键部件，用于将溶液分散成喷雾模式，喷射到晶圆表面，实现化学反应、清洗、刻蚀等目的。通常分为单流体与二流体喷嘴两种。

什么是单流体喷嘴与二流体喷嘴？

单流体喷嘴：仅需要一种流体，通过喷嘴孔径的变化及内部设计控制喷雾效果。

二流体喷嘴：通过两种不同的流体（药液与氮气）的混合来实现喷雾效果。

二流体喷嘴的原理

二流体喷嘴的设计多种多样，此处以图片的设计进行讲解。

这张图片展示了两种二流体喷嘴 外部混合喷嘴 与内部混合喷嘴的结构。

外部混合喷嘴 (External Mixing Nozzle)：液体通过中心的液体通道（Liquid Channel）喷出，雾化气体（Atomisation Air，一般为压缩空气或氮气）从外围多个通道高速喷出。液体和气体在喷嘴外部才混合，高速气流将液流撕裂成细小的液滴，产生细小、均匀的雾化效果，通常为扇形或圆锥形喷雾。

而内部混合喷嘴中的液体和雾化气体在喷嘴内部的混合区 (Mixing Zone) 中相遇，在内部混合后才以高速度从喷嘴喷出。由于在内部就已完成混合，喷出的液滴尺寸更小，雾化更均匀。

二流体相对于单流体的优点？

1，药液消耗少

2，机械冲击力强，易于进入复杂结构中，去除效率高

3，液滴超细（几个微米左右），高度雾化

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