等离子体技术【四】--鞘层

摘自:《等离子体放电原理与材料处理》,Chapter 1         

       等离子体鞘层是指等离子体与器壁或电极接触时,在两者之间形成的过渡区。由于电子跑向器壁的速率比离子大得多,使绝缘器壁相对于等离子体具有负电位,有当到达绝缘器壁的电子流等于离子流时,达到准稳状态,这时器壁的电位约为粒子的动能的量级。

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