XPS介绍

工作原理：

       当入射的光子与样品表面的原子或分子相互作用时，光子将其能量传递给样品表面的电子，使电子从基态跃迁到激发态。由于不同原子或分子的激发态具有不同的能量，因此光电子的能量也不同，横坐标是能量，纵坐标是强度。

       在XPS光电子能谱中，通常使用高能X射线（通常低于100 keV）照射样品表面，使样品表面的原子或分子被激发至高能态。然后，将光电子的能量转移到光电子检测器上，通过测量光电子的能量和数量来确定待测物质的成分和结构。

X射线激发源:

     一般以Al、Mg作为X射线的激发源，俗称靶材。

XPS谱图类型:

1)XPS全谱图和高分辨图

全谱图用于分析元素组成的，实际分析某一个元素使用高分辨图谱。论文中两种图谱往往都需要给出。

2)有伴峰谱和无伴峰谱

 无伴峰谱(左) 有伴峰谱(右)

除元素特征主峰以外，有时也会产生伴峰。伴峰的来源主要有：电子振离、振激、能量损失、X射线伴线、多重分裂、俄歇电子。

注：元素的伴峰有时候能够提供额外的信息，善加利用会有意想不到的结果。这一点将在下一篇“XPS在锂离子电池中的重要应用”中进行详细阐述。

常见问题:

1​​​​​​. XPS为什么不能检测H和He？

①H和He的只有价电子，没有内层电子，内层电子有原子特征 ，H和He只有分子特征，没有原子特征，XPS没法判别。

②H和He的光电离截面小，信号弱

2. XPS测试为什么会有碳污染?

XPS是用碳定位的，每个xps图中专门加进去碳，以碳峰的位置来定位，以便衡量其它金属的价态。

3.磁性材料为什么不能做XPS?

答：磁性样品自身的磁场会干扰光电子的运动轨迹。如果具有磁性的话，会影响测试的结果！要先做消磁处理。消磁后会用特殊模式测试，相对普通测试信号会弱一点

4.XPS怎么算元素比例?

答：光谱谱峰强度与该能级上的电子数目成正比，与该能级电子的光电离界面成正比（有表格可查），与样品中该类原子的浓度成正比。我们是拟合后用拟合的谱峰面积来处理的。

5. 处理样品是需要砂纸打磨表面至纳米层，后续进行不同深度的离子刻蚀，请问老师砂纸会污染样品表面吗？

答：砂纸打磨样品会有部分污染物进入样品表面的现象，所以测试的时候可以用离子刻蚀稍微清洁下，大部分的样品可以直接测试。

6. 怎么区分震级峰和能量损失峰？

答：在光电发射中，由于内壳层形成空位，原子中心电位发生突然变化将引起价带层电子的跃迁。

震激：价带电子向未占有电子轨道跃迁（也就是向导带跃迁）

震离：价带电子向真空能级跃迁，变成自由电子，造成的能量消耗和损失（对应的光电子能量下降，结合能在高位），但震离不明显（需要损失更高能量才能发生）；

通常过渡金属氧化物、稀土元素都有比较特征的震激谱峰，对研究分子结构有价值。

能量损失峰

对于某些材料，光电子在离开样品表面的过程中，可能与表面的其它电子相互作用而损失一定的能量， 而在XPS低动能侧出现一些伴峰，即能量损失峰

任何具有足够能量的电子通过固体时，可以引起固体导带中自由电子的集体振荡。因材料的不同，这种集体振荡的特征频率也不同，故而所需要的激发能亦因之而异。体相 等离子体激元震荡基频为wb，其能量损失是量子化的(ħwb)。如受到 多次损失，在谱图上将呈现一系列等间距的峰，强度逐渐减弱。

7. 请问如果要确定材料中锰的价态，是不是测3s更好？

答：建议测试3s和2p辅助判断化学态。

8.不同样品同一个元素的xps峰的位置有可能有差异吗？

根据氧化态的不同会有差异

9. xps每种元素的分峰面积有什么物理意义?

答：Xps的表面积只代表表面的元素相对含量,用来定量意义不是很大,主要是分析元素价态.12

10. xps可以定量测定元素不同价态含量吗?

答：可以，但是定量是半定量。XPS只能对表面上元素价态分析，及其表面的含量。价态及其元素所处环境都会对其结合能有影响。

11. 怎么利用XPS得出元素含量现有Ag和Cl元素的XPS分析结果，怎么利用这个结果计算两个元素的含量？

现知道要利用公式：n1/n2=(I1/S1)/(I2/S2)，其中峰面积怎么积分？Ag分峰之后有四个小峰，是利用哪个峰的积分面积呢？

应该先专用软件先分峰拟合，再换算成质量浓度，根据峰面积的比例 来计算含量比 如果一个元素有两个峰的话，就峰面积加合

还要考虑灵敏度因子，才能得到原子比。

XPS是半定量的，不能得到绝对含量。

如果你已经做完了XPS测试，一般测试实验室有XPS专业软件可以计算两者的相对含量。其原理是依据元素特征峰峰面积与对应原子灵敏度因子之比作归一化处理计算可得。

12. 怎么确定XPS铁元素价态和含量?

怎么确定XPS铁元素价态和含量你可以查文献，二价铁和三价铁的络合能有差异。如果只有一个峰，用软件分峰，面积比值就是两种价态铁相对含量比20、

13. XPS谱图中有哪些重要的谱线结构?

XPS谱图一般包括光电子谱线、卫星峰（伴峰)、俄歇电子谱线、自旋-轨道分裂(SOS)等。