等离子体技术【十四】--用于CO2激光器的射频电源

摘自《高功率CO2激光器及其应用技术》

 

 从上面的指标可以看出，CO2激光脉冲宽度要求在15~20ns左右。而用射频电源根本没办法做到，一般脉冲频率为10KHz~100KHz，脉冲宽度对应为10us~100us，相差整整三个量级。