多层石墨烯表皮电子皮肤【翻译】

摘要

石墨烯由于其优异的柔韧性，在表皮电子传感器中具有重要的应用前景。

然而，目前的器件在灵敏度、量程、层次性和艺术性等方面存在缺陷。

在这项工作中，我们展示了一种基于激光刻划石墨烯(laser scribed graphene)的多层石墨烯表皮电子皮肤，其图案可编程。研究了一种去除未还原氧化石墨烯的方法。

这种方法使表皮电子皮肤在水的帮助下，不仅可以与蝴蝶、人体以及任何其他物体不可分割地、优雅地转移，而且具有更好的敏感性和稳定性。因此，图案电子皮肤可以像艺术品一样附着在任何物体上。

当封装在Ecoflex时，电子皮肤表现出卓越的性能，包括超高灵敏度(测量因子高达673)、大应变范围(高达10%)和长期稳定性。

因此，基于表皮电子皮肤，单条石墨烯线就可以检测到许多细微的生理信号。采用带有多条石墨烯线的电子皮肤来检测大范围的人体运动。

为了更深入地了解电阻的变化机理，建立了解释裂纹方向与电学特性关系的物理模型。

这些结果表明，石墨烯表皮电子皮肤在医疗保健和智能系统中具有巨大的潜力。

关键词

激光刻录石墨烯，可编程图形，表皮，GO剥离，裂纹模拟

引文

表皮传感器在电子皮肤中有着重要的应用前景，近年来备受关注。与传统传感器相比，表皮传感器具有灵敏度高、柔韧性好、附着性好、舒适性好等特点。

金属、半导体等传统材料由于其优异的特性，已被广泛应用于表皮传感器。然而，这些表皮传感器仍然有一些弱点，阻碍了它们的进一步应用。例如，图案的设计和制作都很复杂。

除了传统材料外，许多材料，如碳纳米管、银纳米线和聚合物，已经被用来提高表皮传感器的性能。

石墨烯是一种具有优异特性的二维材料，自2004年发现以来备受关注。

最近，Ameriet开发了基于化学气相沉积(CVD)生长的石墨烯的电子纹身传感器，可监测人体生物电信号。然而，类似纹身的表皮应变传感器尚未实现。

此外，纹身本质上是一种装饰，其图案应具有可定制性和艺术性。由于CVD石墨烯层很脆弱，很难获得所需的图案和良好的耐久性。另外，设计是由光刻掩模决定的。因此，迫切需要实现性能优良、层次性好、艺术性好的机械石墨烯表皮传感器。

在这项工作中，我们展示了一个完整的过程，以制造石墨烯表皮图像传感器的激光刻录石墨烯((LSG))。

它可以在没有屏蔽罩(shield mask)的情况下同时生长和绘制石墨烯。该工艺也适用于多种柔性基材。

与之前的LSG工作相比，开发了一种简单的去除未还原氧化石墨烯(GO)薄膜的提离过程，仅在水的帮助下。整个石墨烯结构可以提高器件的灵敏度和艺术性。

此外，与氧化石墨烯的模式相比，石墨烯总结构具有更好的耐高温性能(如图S1所示)。GOfilm的i - v曲线表明其电阻在10GΩ左右。

因此，可以认为氧化石墨烯是一种绝缘体。激光刻划后，电阻降至2.1 kΩwith a平方电阻700Ω/square(图S2)。阻力下降了约5×107times。此外，加热到200℃后，GO的电导率约为1 kΩ/square。因此，去除氧化石墨烯后，传感器可以承受更高的温度。

当与湿转移纸结合使用时，完全石墨烯艺术应变传感器(tgass)可以完美而优雅地转移到包括人体在内的任何物体上，无需任何胶带，可以用于检测脉搏、呼吸和声音等生理信号。

当填充到Ecoflex弹性聚合物中时，tgass的标准系数(GF)超高，为673。在相同范围内，tgass的灵敏度远高于GO (SSGs)应变传感器。灵敏度和应变范围(高达10%)可通过设计图案进行调整。

为了分析电阻器件的机理，我们发现了两种类型的裂纹，并用模型对其进行了模拟。仿真结果与实验数据基本一致。

此外，氧化石墨烯的去除过程与传统硅基工艺中的提离过程相似，是碳基装置系统工业化生产的重要一步。这些表皮传感器在健康监测、农业监测、电子标签等领域具有巨大的潜力。

综上所述

我们实现了高灵敏度、大量程的气体气体测量系统。传感器的性能可以通过改变石墨烯图形来调整。

我们的工作有四个创新点:

一是开发了石墨烯的起飞过程，这无疑将拓宽LSG的应用领域。在相同的应变下，与SSGs相比，tgass具有较大的GF。

其次，一些带有石墨烯“色素”的可编程模式已经转移到人体上。因此，石墨烯艺术图案已成为美学和实用的同时。

第三，识别了两种类型的裂纹，并对其产生的机理进行了详细的讨论，这对控制LSG装置的特性具有指导意义。

四是作为表皮皮肤，具有优异的性能和艺术性。由于tgass的高灵敏度，许多生理信号已经被检测到，如呼吸、脉搏和声音。测试词的所有音节都能被区分出来。

总之，发射过程将极大地促进碳基系统的发展。简单的工艺和精致的图案，使我们的设备在未来具有巨大的商业潜力。

EXPERIMENTAL METHODS

材料准备

由 XFNANO材料科技有限公司(中国，南京)提供的(2mg mL−1)氧化石墨烯分散体首先与四氢呋喃(THF)以1:5的体积比混合。

然后，溶液被滴在转印纸上。溶液蒸发后，在纸上留下一层GO film。