简述LaNiO3薄膜的制备表征和应用-瑞禧

最新推荐文章于 2024-09-19 11:12:44 发布

Qin-瑞禧小编

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分类专栏：薄膜文章标签：产品运营

本文链接：https://blog.csdn.net/weixin_58367229/article/details/123276341

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本文介绍了采用射频磁控溅射法制备的LaNiO3-x薄膜，研究了其在不同热处理条件下的结构、电导率、光学性质和氧含量变化。实验发现，薄膜具有金属导电性，晶粒大小约10nm，热处理对其结构无明显影响。随着热处理时间增加，薄膜的电导率和光学性能下降。通过计算机模拟解释了这些现象，并指出溅射时氧气比例的重要性。此外，讨论了溶胶-凝胶法制备LaNiO3薄膜的工艺，以及其在不同衬底上的电性能和在PZT薄膜极化强度中的应用。

摘要由CSDN通过智能技术生成

采用射频磁控溅射制备工具有(100)择优取向的赝立方钙钛矿结构的LaNiO3-x薄膜，并对薄膜在265℃的衬底温度下进行了原位热处理。测试结果表明薄膜具有金属导电性，薄膜中晶粒大小约为10nm，并且热处理对薄膜的结构没有影响。

同时，随着热处理时间延长，薄膜品格的含氧量、电导率、光学折射率以及消光系数都将逐步降低。采用经典电磁理论，通过计算机模拟成功解释了这些实验结果和证明了以前给出的理论解释。此外，数值模拟和实验结果同时表明在纯氩气氛中溅射制备的LaNiO3薄膜晶格中存在氧空位，为了提高电导率，溅射时的氧气比例应超过20％。

LaNiO3薄膜的制备表征及应用：为改进以醇盐为原料溶胶-凝胶制备LaNiO3(LNO)薄膜工艺中存在的诸多苛刻因素,以无机盐为原料,利用湿化学工艺在硅衬底上制备了LNO薄膜,La(NO3)3·6H2O和Ni(NO3)2·6H2O冰醋酸溶液通过配体交换形成金属醋酸盐的冰醋酸溶液,回流时用乙酸酐(CH3CO)2O除硝酸根和结晶水,而乙酰丙酮(AcAc)部分取代醋酸盐分子中的醋酸根而形成的M(OAc)n-x(AcAc)x(M=L