无膜光学麦克风，听见最宽范围的声音

声学是一个小量的世界。在日常办公室谈话中，人类耳膜的运动大约是0.1 μm。令人印象深刻的是，最先进的微机电系统技术意味着，即使是1美元的手机麦克风，现在也可以分辨出氢原子直径1/500的膜运动。

 

因此，当试图用光学手段测量声音时，人们面临着苛刻的技术规范。一种常见的方法是光学检测悬臂梁或反射膜的声诱导机械运动。这个想法与共产主义时代的间谍电影有关，在电影中，特工可以通过光束的偏转来探测窗户的运动，从而偷听另一个房间里的谈话。实际上，这个想法在更早的时候就已经实现了。

早在1880年，英国著名发明家亚历山大·格雷厄姆·贝尔(Alexander Graham Bell)就利用反射膜在阳光照射下的偏差，将语音转化为电信号。然而，基于移动机械部件(如膜)的麦克风——无论是在电气或光学设备中——都有局限性，因为它们受到相关结构的机械性能的影响，这些结构表现为耦合的弹簧-质量系统。例如，含有膜或机械变形压电材料的麦克风具有几个不同的共振频率。阻尼系统可以提高器件频率响应的线性度，但代价是降低灵敏度。

 

虹科提供一种新的声学传感器系列，其中声压波由一个微型Fabry-Pérot ettalon纯光学检测。这个标准爪是一个由两个平行的毫米大小的半透明镜子组成的小干涉腔(图1)。传感器的新奇之处在于，它不像人们可能期望的那样，通过感应腔镜的运动或变形来工作。相反，它的工作原理是感知腔内声音传播介质折射率的微小变化。一个1mw的光束，从一个1550nm的激光二极管发射，在连续波模式下，通过光纤发送到Fabry-Pérot标准具。当腔内的压力发生变化时，透射(和反射)光的强度也相应地被调制。由于使用单一光纤的简单传感器设置是许多