• 其目的是使用 PatMax 技术探测缺陷
• 缺陷被定义为运行期间图像中超出正常预期的图像差别的任何变化
• 缺陷可能是物体遗失(阻塞)或者多余(杂乱)
• 缺陷在训练图像和运行期间图像中的类似区域之间
的像素灰度值不同
• 支持图像标准化
– 最小化灯光差别对结果的影响
• 使用PatInspect的基本步骤:
– 训练基准图案
– 训练检查图案
– 设置运行期间参数
– 运行PatInspect
–从PatInspect中萃取结果或者使用其他视觉工具在差别图像上执行进一步的分析
基准图像
• 通常,您的运行期间图像和训练图像并不总是在图像中的同一位置上
– 甚至在位置上的微小差别也会造成问题,除非在对准步骤中得到解释
• 创建并且配置PMAlign工具查找能可靠地用作对准的特征
– 这可能是:
• 待检查的整个元件
• 待检查元件的一部分
• 与您要检查的完全不同的东西,只要其与检查保持一致的位移
检查图案培训
• 一个或更多的图像可以做为培训图案使用
• PatInspect 将在统计学方面合并这些图像为一个独立的图案