晶圆在低温探针台中的安装方式——GE Varnish

低温探针台为研究人员提供了一个可配置的平台，可以不用切晶圆从而表征晶圆的电学特性。低温探针台同时提供了一个真空环境下可变的温度环境，用于研究不同的特性。对于大多数室温探针台来说通常在测试期间将晶片或器件模块通过真空卡盘固定在样品台上，然而低于低温测试来说，样品空间周围的真空环境要求样品安装采用不同的方法，除了机械固定测量的器件之外，安装方法还必须满足其他潜在的测量要求，如低温下高导热性，以达到尽可能低的温度或者是很好的电学测试的要求。
用户首选的安装方法应该综合考虑实际的应用和需要，以下是GE Varnish安装方法。

清漆是一种酚醛化合物，商业上用来包裹电线，用50/50的酒精和甲苯溶液适当稀释，长期被用来安装传感器和低温线缆。对于低温应用中可拆卸的晶圆来说GE Varnish拥有极好的热传导性（～0.1～1W/K，1mm2区域），因此推荐用于对于极低温的关键应用。固化时间，真空兼容性以及去除方式固化时间、真空相容性和去除工艺是涂有清漆的晶圆安装的主要缺点，限制了其广泛应用。虽然清漆往往在5至10分钟后硬化，但在高温下，整个固化时间通常需要12至24小时。当未完全固化时，残留溶剂会进入探针台的泵，造成损坏，或可能改变被测表面敏感设备的功能。拆卸涂有清漆的晶圆通常需要将样品座和晶圆浸泡在溶剂中，然后施加机械应力，直到晶圆脱落。由于GE清漆是电绝缘的，因此不建议用于需要背面电压（门控）的应用。固化清漆的使用温度可达470 K。