国产数字源表在压力传感器电阻测量上的应用

压力传感器分类

压力传感器(Pressure Transducer)是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置,压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成。常见的压力传感器有四种:应变式压力传感器、压阻式压力传感器、电容式压力传感器以及压电式压力传感器。

覆盖从到GQ宽电阻测试范围

半导体压力传感器是一种利用半导体材料在外力作用下，其电阻率会出现变化这一机理来进行检测的器件，具有灵敏度高，相应块、稳定性好、使用简单的特点，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井电力、船舶、机床、管道等众多行业。

半导体压力传感器根据材料的不同，其阻值跨度大，覆盖Q~GQ范围。针对不同材料的压力传感器进行分选，需要有高效的检测方案。

“五合一”数字源表有助提高测试工作效率

I-V测试是对待测器件（DUT）施加电压或电流，然后测试其对激励做出的响应。根据待测器件(DUT）的不同，信号电平可能相当低，需要高灵敏度源和测量仪器及测试技术，最大限度地减少误差的外部来源，而且需要有快的测试速度和高的测试可靠性做保证。

通常，压力传感器Ⅳ特性测试需要几台仪器完成，如数字表、电压源、电流源等。然而，由数台仪器组成的系统需要分别进行编程、同步、连接、测量和分析，过程既复杂又耗时，还占用过多测试台的空间。而且，使用单一功能的测试仪器和激励源还存在复杂的相互间触发操作，有更大的不确定度及更慢的总线传输速度等缺点。

施I-V特性分析的最佳工具之一是数字源表(SMU）。数字源表作为独立的恒压源或恒流源、伏特计、安培计和欧姆表，还可用作精密电子负载。其高性能架构还允许将其用作脉冲发生器，波形发生器和自动电流-电压(I-V)特性分析系统，支持四象限工作。

利用源表SMU可以灵活的进行电阻测量

(1）实时测试多种材料在同一压力条件下的电阻值的反应灵敏度;

(2）在低电压下进行下高范围跨度（Q、KQ、MQ、GQ）的电阻测量，测试设备输入电阻要求高﹔

(3）I/N曲线扫描;

(4）上位机实时显示各不同压敏电阻R/t曲线，并可记录存档。