secs-gem协议开发系列（五）交互测试

  本文转载自工控老兵的博文

        300mm晶圆是目前IC制造的主流，国际半导体装备和材料协会（SEMI）及全球半导体制造厂、设备供应商共同起草并制定了一系列300mm相关的自动化软件通信标准，规定了生产管理系统（MES/CIM）与IC装备之间的通信协议。

    目前，与通信相关的SEMI软件标准有如下3类：

• SECS/GEM标准：传统的主机设备通信标准，定义了通信的物理层（RS232, TCP/IP）、消息格式以及设备通信场景。
• 300mm相关标准：以SECS/GEM标准为基础，针对300mm晶圆加工过程中的特殊需求，定义了加工过程管理、批量物料的作业管理、物料跟踪、载体管理、载体并行I/O接口等。
• Interface A标准：Interface A通信方法工具软件是设备系统的一部分，由Interface A接口、服务和数据类型，以及设备模型工具和设备控制系统组成。

基础库和扩展库两部分，其中基础库既可以用于开发主机端（Host）也可以用于开发设备端（Equipment）。而扩展库主要是为设备端开发的，测试和应用目前都仅限于设备端。
       基础库-主机端：
       基础库部分的开发起源于一个国家项目，为一家封装测试厂开发一套EAP软件，其功能就是将FAB厂中各个厂家的封装测试设备通过SECS标准协议连接起来，进行统一的管理。
       项目主要功能:
       1.系统采用B/S分布式系统架构；
       2.SECS通信库，封装SECS协议（包括E4,E5,E30,E37等），支持半导体设备的联网通信；
       3.监控封装测试生产线封装、键合、划片、测试等后道设备，及腐蚀、光刻、薄膜等前道设备；
       4.对采集设备状态数据及报警信息进行分析，统计设备在线时间及加工效率等信息，并提供分析报表帮助企业提高设备生产效率；
       5.系统设计容量为500台设备同时在线；
       6.此EAP系统分别在2家前道和后道FAB厂进行了应用。
       下图就是开发的EAP软件，因年代比较久远，采用的框架也比较老，不过这不是重点，我们要说的是SECS通信库。这个项目的实施过程中开发的通信库就是“RapidSecs”基础库的雏形。效果如下图所示：

基础库-设备端（C++版）：
       随着多个项目的实施，用户的需求也不断的增加，尤其是对设备端功能的需求日渐增加，因此开发库的设备端功能也得到了不断的完善，C++版本的开发库是既支持主机端又支持设备端的，此处演示设备端应用。由于设备端不像主机端一样有用户界面，因此为了说明可用性采取与第三方测试软件（“Swift Emulator”）通信的方式。
       测试过程如下：
       1.    首先启动第三方工具软件“Swift Emulator.exe”，点击“File”->”Open”，在弹出对话框中选择“Host.xml”，此时工具软件是作为主机端，如果作为设备端则选择“Equipment.xml”；
       2.    然后选择“Commnuicaion“->”Settings“，弹出配置对话框，有”General“和”HSMS“两个标签；
       3.    “General“标签，主要是配置设备ID和通信协议，其中设备ID一定要与实际设备的ID一致，否则无法建立通信（默认为            

        1）,此时需要把设备ID修改为0，因为设备端软件默认ID为0，如下图所示；

                 
       4.    “HSMS“标签，是配置通信地址、端口号和超时信息（保持默认即可）等，如下图所示：

       

以上配置暂时不用修改，保持默认即可，此时主机端为主动模式“Active“；
       5.    然后选择“Commnuicaion“->”Open Port“，软件进入监听状态；
       6.    启动设备端软件“DEMOSecs.exe“，然后输入”E“（选择了作为设备），再输入”P“（选择了作为被动模式）。此处如果选择“H”代表的是作为主机，选择“A”代表的是主动模式。

       7.    回车后，设备端软件将等待主机端主动建立连接，主机端软件主动和设备端软件建立连接后，消息显示如下图所示：

 

此处打印出了测试用的命令列表，可以输入进行测试。

8.    此时选择发送“S1F1“消息，则设备端会恢复”S1F2“消息，如下图所示；

 

9.    在设备端命令行界面输入“1”回车，设备将发送一个报警（S5F1）消息到主机端，如下图所示：

       

10.    目前设备端软件仅仅是一个Demo，支持的命令很有限，需要用户自行开发所要支持的命令。其实在使用此C++库开发Demo的过程本身就是在开发GEM功能，只是由于是DEMO的原因支持的命令比较少，但实际上可以提供对所有SxFx系列消息的支持。
       扩展库-设备端（C#版）：
       C++版本的基础开发库由于没有提供对GEM（E30）的支持，需要用户自行开发，开发的工作量较大而且很多用户的开发能力有限、项目周期有限，因此开发库提供对GEM的支持就成为了必须。
       C#版扩展库的测试基本同C++版本一致，只不过可以进行测试的命令更多，但是要强调一点使用此扩展库也并不是不需要进行任何的二次开发（没有任何一个库是可以不进行二次开发就可以直接使用的），都需要根据自己设备的实际情况进行相应的适配工作，比如设备SV、DV、EC的配置，还有各类事件、报警的配置等等，本DEMO测试的前提是已经对这些内容进行了模拟适配。
       测试过程如下：
       1.    启动第三方工具软件“Swift Emulator.exe”，过程与上述相同就不再重复介绍了；
       2.    启动设备端DEMO程序“RapidSecsDemo.exe”，界面如下：

       窗口中有3个部分：
       SECS/GEM：此部分的按钮功能用于设备在通讯/控制状态机的各个状态之间进行切换（状态机的具体内容后面会讲）；
       State：此部分显示的是设备当前的状态；
       Gem Command Test：此部分用于模拟测试设备主动向主机端发送的命令。
       3.    点击“Enable”按钮后设备端Demo程序就进入了服务状态可以与主机端进行通信行了，主机端与设备端建立连接后消息显示如下：

 

之所以此处的消息比C++版的多是因为C#版本的扩展库支持了GEM，并且次Demo配置了事件上报（S6F11），所以此处出现了事件消息上报主机。
       4.    后面在讲述Demo开发的时候将进行逐条命令的测试，此处不进行详细的测试。本设备端Demo程序支持的命令列表如下：

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