半导体设备国产化 的想法: Canon步进式光刻机 | 商品名称:扫描电镜<br>商品编号:T01185<br>制造商:步进式光刻机<br>商品编号:T01194<br>制造商:佳能(Canon)<br>型号:FPA-3000 i5<br>制造日期:2001-03<br>CANON FPA-3000 i5步进电机配置<br>晶圆:6“或8”(其他尺寸请咨询)<br>网格:6“<br>一般规范和信息<br>型号:FPA 3000 i5<br>第一年:2003年<br>镜头类型:UL34-II<br>舞台类型:平面<br>腔室类型:CD83<br>投影光学:<br>投影放大倍数:1/5 X<br>曝光光:365nm<br>数值孔径:.45-.63<br>字段大小:22×22(或17×26)<br>标准照明:<br>光源:2.0KW超高压汞灯<br>强度:8000 W/m2<br>均匀性:<1.0%<br>聚焦/调平重复性:<0.10µm(3西格玛)<br>标准性能:<br>分辨率:<0.35µm<br>焦深:>1.0µm<br>图像场偏差:<.3µm<br>畸变:<±0.035µm<br>标准阶段规范:<br>步长精度:<0.03µm(3西格玛)<br>标度:<±0.5ppm<br>正交性:<±0.5ppm<br>标准对准规范:<br>光栅旋转精度:<±0.01µm<br>晶圆对准:平均值<0.04µm+3西格玛<br>网格旋转重复性:<0.02µm)<br>标准水准测量:<br>水准测量重复性:<7ppm(3西格玛)<br>最小补偿范围:>100ppm(二手设备) - 知乎 (zhihu.com)