FPA3000 i5

最新推荐文章于 2025-05-20 19:46:55 发布

yxl763889495

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半导体设备国产化的想法: Canon步进式光刻机 | 商品名称：扫描电镜 商品编号：T01185 制造商：步进式光刻机 商品编号：T01194 制造商：佳能（Canon） 型号：FPA-3000 i5 制造日期：2001-03 CANON FPA-3000 i5步进电机配置 晶圆：6“或8”（其他尺寸请咨询） 网格：6“ 一般规范和信息 型号：FPA 3000 i5 第一年：2003年 镜头类型：UL34-II 舞台类型：平面 腔室类型：CD83 投影光学： 投影放大倍数：1/5 X 曝光光：365nm 数值孔径：.45-.63 字段大小：22×22（或17×26） 标准照明： 光源：2.0KW超高压汞灯 强度：8000 W/m2 均匀性：<1.0% 聚焦/调平重复性：<0.10µm（3西格玛） 标准性能： 分辨率：<0.35µm 焦深：>1.0µm 图像场偏差：<.3µm 畸变：<±0.035µm 标准阶段规范： 步长精度：<0.03µm（3西格玛） 标度：<±0.5ppm 正交性：<±0.5ppm 标准对准规范： 光栅旋转精度：<±0.01µm 晶圆对准：平均值<0.04µm+3西格玛 网格旋转重复性：<0.02µm） 标准水准测量： 水准测量重复性：<7ppm（3西格玛） 最小补偿范围：>100ppm（二手设备） - 知乎 (zhihu.com)

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