FPA3000 i5

半导体设备国产化 的想法: Canon步进式光刻机 | 商品名称：扫描电镜<br>商品编号：T01185<br>制造商：步进式光刻机<br>商品编号：T01194<br>制造商：佳能（Canon）<br>型号：FPA-3000 i5<br>制造日期：2001-03<br>CANON FPA-3000 i5步进电机配置<br>晶圆：6“或8”（其他尺寸请咨询）<br>网格：6“<br>一般规范和信息<br>型号：FPA 3000 i5<br>第一年：2003年<br>镜头类型：UL34-II<br>舞台类型：平面<br>腔室类型：CD83<br>投影光学：<br>投影放大倍数：1/5 X<br>曝光光：365nm<br>数值孔径：.45-.63<br>字段大小：22×22（或17×26）<br>标准照明：<br>光源：2.0KW超高压汞灯<br>强度：8000 W/m2<br>均匀性：&lt;1.0%<br>聚焦/调平重复性：&lt;0.10µm（3西格玛）<br>标准性能：<br>分辨率：&lt;0.35µm<br>焦深：&gt;1.0µm<br>图像场偏差：&lt;.3µm<br>畸变：&lt;±0.035µm<br>标准阶段规范：<br>步长精度：&lt;0.03µm（3西格玛）<br>标度：&lt;±0.5ppm<br>正交性：&lt;±0.5ppm<br>标准对准规范：<br>光栅旋转精度：&lt;±0.01µm<br>晶圆对准：平均值&lt;0.04µm+3西格玛<br>网格旋转重复性：&lt;0.02µm）<br>标准水准测量：<br>水准测量重复性：&lt;7ppm（3西格玛）<br>最小补偿范围：&gt;100ppm（二手设备） - 知乎 (zhihu.com)