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原创 双阱工艺

双阱工艺的目的主要是通过两种杂质注入使得可控掺杂浓度。从而达到分别调节NMOS和PMOS衬底掺杂浓度的目的。衬底掺杂浓度不同会影响器件很多性能,最主要的是MOS的阈值电压,阈值电压作为MOS器件的最关键参数,它的大小直接受衬底掺杂浓度的高低影响。这个你可以去查下半导体器件原理的书籍。Vth的公式就能知道了,即Qsd/Cox这一项。当然由于掺杂浓度引起的衬底费米能级变化而导致的功函数差...

2019-07-01 15:49:48 8204 1

原创 影响cmos阈值电压的因素

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