纳米压痕仪应用及制样要求

检测项目：

压痕、划痕、压痕形貌扫描

应用范围：

压痕/划痕测试仪的基本功能是对材料的硬度、弹性模量、断裂韧性、蠕变、摩擦、磨损性能等进行测定，涉及的材料几乎涵盖所有的材料研究领域，包括薄膜和纳米材料

1.测量各种薄膜材料包括离子注入材料，化学镀，气相沉积，多层膜等材料的硬度和弹性模量;

2.测量多相金属材料，复合材料中某一相的硬度和弹性模量及界面区域的硬度分布。

纳米压痕仪制样要求：

试样建议

(1) 类型I – 薄片：水平尺寸5mm×5mm~20mm×20mm，厚度0.5mm~6mm。

(2) 类型II – 圆柱：直径Φ31mm，厚度20mm~25mm，通常为镶样。

(3) 表面质量：待测表面为光滑表面(Ra<10nm)或超光滑表面(Ra<1nm)。

(4)被测表面硬度超过20Gpa或磨损实验请自备压针(2.4万/支)。

1.试样厚度至少大于压入深度h的10倍以上，压入深度h至少是粗糙度Ra的20倍;压入深度小于100nm数据可靠度不高;

2.样品表面平整，不得有油污、颗粒物等污染物;

3.对于表面比较粗糙的样品，测试结果会比较离散，建议测试点数不低于10个;

4.上下表面平行抛光，直径不超过30mm，高度不超过20mm，如果高度超过10mm，直径需保证是30mm左右，如果直径小于10mm，那么高度建议5mm以下，利于样品测试过程中的稳固;如果是镶的样品，务必加工成直径30mm，要不然容易打偏;

5.提供泊松比;

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纳米压痕