锥形相位掩模的Talbot像

摘要
 

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。

 

建模任务

 

结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
 

某一位置的Talbot图样

 

  

某一位置的Talbot图样

 

不同位置的Talbot图样

 

不同位置的Talbot图样

 

沿Z轴的强度
 

走进VirtualLab Fusion

 

VirtualLab Fusion的工作流程

 构建光栅结构

- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 

- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 

 通过参数运行计算不同位置的强度

- 参数运行文件的使用 [用例] 

VirtualLab Fusion技术
 

  

文件信息