MEMS传感器介绍

Byw2000

已于 2022-08-04 11:05:20 修改

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分类专栏：硬件芯片文章标签：学习

于 2022-08-03 13:21:13 首次发布

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一、MEMS传感器生产厂商

①国内MEMS生产厂商

1.MEMSIC，老牌MEMS上市公司，主要传感器有加速度计、陀螺仪、磁强计、流量计等。

2.歌尔声学，占据国际MEMS麦克风市场重要部分。

3.矽睿，出3轴磁传感器，获得国家重点实验室的技术支持，高度计工艺技术可媲美国际巨头Bosch。

4.华为，偏向应用MEMS，自研硅光通信类。

5.苏州敏芯，主攻麦克风、压力计及惯性，掌握核心技术专利，Boss很nice，今年IPO科创板上市，虽在审议期间三次被歌尔起诉专利侵权仍获批通过。

6. 。。。。。。

②全球MEMS生产厂商

全球前十名 MEMS厂商主要包括博世、意法半导体、惠普、德州仪器、佳能、InvenSense、 Avago和 Qorvo、楼氏电子、松下等等。其中 BOSCH因为其在汽车电子和消费电子的双重布局，牢牢占据着行业第一的位置，其营收约占五大公司合计营收的三分之一。大部分 MEMS行业的主要厂商是以 Fabless为主，例如楼氏、 HP、佳能等。同时，平行的也有 IDM厂商垂直参与到整条产业链的各个环节，比如 Bosch、 ST等都建有自己的晶元代工生产线。

③MEMS代工

MEMS代工主要有两种类型：IDM厂商提供的MEMS代工，独立的代工厂提供的MEMS代工，其中独立的代工厂包括集成电路代工厂和纯MEMS代工厂。近几年Fabless模式的MEMS器件制造商发展迅速，独立的MEMS代工厂努力寻求标准化的工艺以提升规模经济，减少制造时间和降低成本，使得独立的MEMS代工厂快速成长，但目前IDM代工仍处于市场领导地位。目前提供MEMS代工的IDM厂商主要有意法半导体、索尼、德州仪器等；台积电目前是全球最大的独立的MEMS代工厂，全球领先的纯MEMS代工厂还有Silex Microsystems、Teledyne DALSA、Asia Paciﬁc Microsystems、X-FAB 、Innovative Micro Technology等,国内的中芯国际、华宏宏利、上海先进半导体也有生产MEMS的能力。

④MEMS封装测试

目前具备MEMS封装测试能力的国际厂商主要有日月光、安靠、矽品、力成科技等，国内有华天科技、长电科技、晶方科技等厂商。尽管国内的MEMS前端制造还落后于国际大厂，由于国内的封装技术起步较早，国内MEMS产业链后端封装较为完善。封装技术与IC封装有着诸多不同，对企业的要求很高。众所周知，MEMS器件价格下降非常之快，目前部分MEMS器件中封装成本甚至占到总价格的40%到60%。如何做到低成本封装是封测厂商面临的巨大挑战。经过四十多年的发展，微机电系统（MEMS）已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，应用前景广阔。

二、MEMS传感器介绍及类别

MEMS 传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高, 适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。MEMS 传感器和IC芯片最大的区别在于：MEMS 是可动结构，利用微纳加工技术同时加工出机械结构和电路系统。如图1中所示，是目前市场中常见的一些MEMS传感器，并且随着MEMS传感器的不断发展，还出现了许多从前没有的MEMS传感器，如流体黏度传感器，密度传感器等等。

比如MEMS运动传感器主要有加速度计、陀螺仪、磁力计三大类，加速度计和陀螺仪可以集成为六轴惯性传感器；磁力计和加速度计集成为电子罗盘（e-compass），加速度计、陀螺仪和磁力计可集成为9轴传感器。惯性传感器（加速度计+陀螺仪）厂家有：意法半导体（ST）、旭化成微电子（AKM ）、应美盛（InvenSense）、罗伯特、博世等。电子罗盘（磁力计+加速度计）厂家有：旭化成微电子（AKM ）、雅马哈（Yamaha）、阿尔卑斯（Alps Electric）、美新半导体（MEMSIC）（2016年7月被华灿光电收购）等。

三、MEMS产业链

MEMS是多学科交叉的复杂系统，整个产业链涉及设计、制造、封装测试、软件及应用方案环节。MEMS产业链的上游负责MEMS器件设计、材料和生产设备供应，中游生产制造出MEMS器件、下游使用MEMS器件制造终端电子产品。