用MEMS传感器感知工业自动化的世界

　　同时，工业4.0和物联网(IIoT)等倡议正在帮助制造业组织提高生产过程的效率。基于云的分析应用程序负责整理和提供关于运行生产或生产操作的许多不同方面的上下文。这些应用程序收集了传感器的基本数据，这些传感器部署在工厂的地面和每一个生产设备上。传感器被用来测量实时世界，在大多数情况下，将模拟测量转换成数字信号。环境参数包括温度、湿度和气压，但还有许多其他特性，如气体流量、液压流体压力和邻近性。其他类型的传感器需要精确测量运动和相对位置。这些可以包括用于机器人和自动化的惯性导航，工业设备的状态监测，以及冲击探测和记录。微机电系统(MEMS)由于其紧凑的尺寸、低功耗特性和极其精确的测量能力，越来越多地用于这些任务。本文将解释基于mems的加速度计和陀螺仪设备如何工作，并展示一些设计用于工业自动化应用程序的示例。

　　MEMS器件是在硅结构中以一种非常小的移动结构的方式构造的。通常情况下，这可能是一个结构，或者质量(证明质量)，横向或垂直移动取决于测量的是什么。这种运动，或位移，可能是加速力的结果，例如相对位置的变化。这些微观运动的测量通常是通过微加工元件之间电容的变化来检测的。重力本身产生一个恒定的加速度1 g，一个加速度计可以测量的东西，倾斜正比于加速度计相对于引力场的角度的正弦值。一个高度精确的模拟前端测量了证明质量和固定结构之间的电容，然后用模数转换器(ADC)将信号带进数字域。然后，使用一个微控制器处理接收到的数据和一些基于软件的过滤器，这些过滤器可以拒绝与有效动作无关的信号。一个单一的基于质量的MEMS传感器可以在一个方向上检测到加速度，因此对于实际的三维目标，需要三个单独的MEMS结构(图1)。

　　检测三维加速度图。

　

　　图1:检测3D加速度。

　　当检测到角速度的变化时，陀螺仪MEMS传感器使用的是微机械振动元件，而不是旋转机构。该振动元件保持在一个固定平面内，并通过电容(图2)的变化检测到横摇、俯仰和偏航角速率的变化(图2)。作为测量过程的一部分，角速度可以得到任何加速度或振动的补偿。

　　yaw、俯仰和横摇角速率的检测图。