AFM成像表面形貌和表面粗糙度

【摘要】 科学指南针可为您提供原子力显微镜技术（AFM）服务，原子力显微镜现已广泛应用于半导体、纳米功能材料、生物、化工、食品、医药研究和科研院所各种纳米相关学科的研究实验等领域中，成为纳米科学研究的基本工具。

在做原子力显微镜AFM测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学对AFM测试不太了解，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

 

AFM可以对样品表面形态、纳米结构、链构象等方面进行研究，获得纳米颗粒尺寸，孔径，材料表面粗糙度，材料表面缺陷等信息，同时还能做表面结构形貌跟踪（随时间，温度等条件变化）。也可对样品的形貌进行丰富的三维模拟显示，使图像更适合于人的直观视觉。图1表征的是纳米颗粒的二维几何形貌图和三维高度形貌图。

 

图1 纳米颗粒的2D主形貌（a）和3D主形貌（b）

 

AFM的高度像可用于样品表面微区高分辨的粗糙度测量，应用合适的数据分析软件能得到测定区域内粗糙度各表征参数的统计结果，一般仪器供应商会提供配套的数据处理软件。表面粗糙度的定量常用美国机械工程协会的ASME B46.1粗糙度分析标准。表面平均粗糙度Ra，最大高度粗糙度Rmax和均方根粗糙度Rq等是常用的表征粗糙度的参数，其含义分别是：在所考察区域内相对中央平面测的高度偏差绝对值的算术平均值（Ra），在横截面轮廓曲线图中在轮廓长度范围内相对中心线最高点与最低点高度的差值（Rmax），Rq是指在取样长度内，轮廓偏离平均线的均方根值，它是对应于Ra的均方根参数。计算机根据高度数据能自动计算出轮廓算术平均偏差Ra，最大高度粗糙度Rmax和均方根粗糙度Rq。

 

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来源：科学指南针