CMOS与MEMS的区别

CMOS：全称 Complementary Metal-Oxide Semiconductor，也被称为互补金属氧化物半导体。CMOS工艺包含了PMOS和NMOS工艺，是IC集成电路制造工艺中的一种，现在被广泛使用。CMOS集成电路具有功耗低、速度快、抗干扰能力强、集成度高等众多优点。

MEMS：全称Micro Electro Mechanical System，中文名为微机电系统也叫做微电子机械系统。MEMS是一个能完成独立功能的智能系统，体积在微纳米级别。MEMS主要是研究的一些传感器、执行器等等，主要是在微小结构下结合一些相应的机械结构，完成一些独立的功能。MEMS是一门交叉学科，和不同学科结合会产生不同的产物，譬如现在广泛使用生物监测设备。

MEMS和CMOS有很多相近的地方，将MEMS和CMOS相结合是目前研究的火热方向。