了解MEMS

什么是MEMS

以MEMS IMU为例：

MEMS全称微机电系统，使用MEMS工艺的IMU基于当前飞速发展的硅基集成电路设计理念，相较于其它类型IMU（激光陀螺、光纤陀螺等），其体积小、重量轻易于批量生产制造，是当前消费电子的主流。

MEMS脱胎于集成电路设计，大量采用IC制造方法，力求与IC制造技术兼容，但由于其除电路外还需引入微结构的复杂加工方法，使得MEMS制造与IC差别很大。

MEMS的尺度当前主流的在微米级别，局部尺寸可达到纳米。