传感器技术与应用

现代信息技术的三大支柱:传感器技术(信息采集)通信技术(信息传输)计算机技术(信息处理)

什么是传感器？广义:一种能把特定的信息按一定规律转换成某种可用信号输出的器件和装置。

狭义:能把外界非电信息转换成电信号输出的器件。

国标:能够感受规定的被测量并按照一定规律转换成可用输出信号的器件和装置。

传感器有三层含义:由敏感元件和转换元件构成的检测装置；能按一定规律将被测量转换成电信号输出；传感器的输出与输入之间存在确定的关系。

按使用的场合不同传感器又称为变换器、换能器、探测器。

目前传感器总的发展趋势是：发现、利用新的效应;开发新材料;提高性能和检测范围;微型化与微功耗;集成化与多功能化;传感器智能化;数字化和网络化。

同一个传感器对不同的输入信号输出特性不同；由于受传感器内部储能元件影响，对快变信号与慢变信号反应大不相同。慢变信号—输入为静态或变化极缓慢的信号时，静态特性，即不随时间变化的特性；快变信号—输入量随时间较快变化时，考虑动态特性，即随时间变化的特性；

传感器的静态特性是什么？静态特性是当输入量为常数或变化极慢时，传感器的输入输出特性其主要指标有线性度 、迟滞、重复性、分辨力、稳定性、温度稳定性、各种抗干扰稳定性。传感器的静态特性由静态特性曲线反映出来，静态特性曲线由实际测绘中获得。

传感器的线性度是如何确定的？实际传感器有非线性存在，线性度是将近似后的拟合直线与实际曲线进行比较，其中存在偏差，这个最大偏差称为传感器的非线性误差，即线性度。

确定拟合直线有哪些方法？选取拟合的方法主要有：理论线性度(理论拟合)；端基线性度(端点连线拟合)；独立线性度(端点平移拟合)；最小二乘法线性度。

传感器的线性度表征了什么含义？线性度是表征实际特性与拟合直线不吻合的参数。最大非线性绝对误差/满量程%为什么不能笼统的说传感器的线性度是多少？传感器的非线性误差是以一条理想直线作基准，即使是同一传感器基准不同时得出的线性度也不同，所以不能笼统地提出线性度, 当提出线性度的非线性误差时，必须说明所依据的基准直线。

迟滞:传感器在正、反行程期间输出特性曲线不重合的现象

输入逐渐增加再逐渐减小，相同输入值输出不等。±∆H/满量程%

∆H=y1-y2为正、反 行程输出值之间的最大差值。

产生迟滞误差的原因:主要是由于敏感元件材料的物理性质缺陷造成的。如弹性元件的滞后，铁磁体、铁电体在加磁场、电场作用下也有这种现象。迟滞误差的存在使输入输出不能一一对应。

重复性:传感器输入量按同一方向作多次测量时输出特性不一致的程度。

±最大重复偏差∆R/满量程%

重复性误差属于随机误差可用标准偏差表示： ±(2～3)σmax /满量程%

σmax  最大标准差，在测量次数趋于无穷时的正态总体的平均值；（2～3）置信度（概率95.4%，99.7%）。

产生不重复的原因与迟滞产生的原因基本相似，也存在不稳定问题。

灵敏度反映单位输入变量能引起的输出变化量；

是在稳定条件下输出微小增与输入微小增量的比值

线性传感器灵敏度是直线的斜率，为常数 S = Δy/Δx 非线性传感器灵敏度为变量S=dy/dx

灵敏度单位，mV/mm (位移)；mV/℃(温度)；

传感器所加电压不同时输出不同，实际灵敏度要除总的电压值。

漂移是指传感器的输入量不变，而输出量却发生了改变（零点漂移与灵敏度漂移）

零点漂移与灵敏度漂移又可分为：

时漂——指在规定条件下，零点或灵敏度随时间缓慢变化；

温漂——则是指环境温度变化引起的零点漂移或灵敏度漂移

电阻应变式传感器是将被测的非电量转换成电阻值的变化再经转换电路变换成电量输出。主要特征：有不同材料类型，金属应变片、半导体应变片;优点：结构简单、精度高、范围大体积小；缺点：电阻、半导体会随温度变化。

金属应变片结构：网状敏感栅—高阻金属丝、金属箔；基片—绝缘材料；盖片— 保护层

金属电阻应变片的基本原理基于电阻应变效应：导体在外力作用下产生机械形变时阻值发生变化。

何为电阻应变效应？怎样利用这种效应制成应变片？导体在受到拉力或压力的外界力作用时，会产生机械变形，同时机械变形会引起导体阻值的变化，这种导体材料因变形而使其电阻值发生变化的现象称为电阻应变效应。R=ρL/S

当外力作用时，导体的电阻率、长度、截面积都会发生变化，从而引起电阻值的变化，通过测量电阻值的变化，检测出外界作用力的大小。

计算灵敏度μ=0.25～0.5(钢μ=0.285)

k0=1+2μ+∆ρ/ρ/ε      k0≈1+2μ（1.5～2）

应变式传感器测量应变的基本原理：通过弹性元件可将位移、压力、振动等物理量通过应力变化，并转换为电阻的变化进行测量。

应变片种类：金属丝式 —— 敏感栅用0.025mm金属丝；金属箔式 —— 通过照相制版，光刻腐蚀工艺作成金属薄栅，厚度在0.003～0.01mm，敏感栅截面为矩形，可通过大电流，工艺适于批量生产；金属薄膜型——采用真空技术，在基片上蒸镀金属薄膜，厚度为纳米级。

半导体式：体型、薄膜型、扩散型、外延型、PN结型

直流电桥：平衡条件：负载 RL→∞（放大器的输入阻抗比桥路阻抗大的多，可视为开路）电桥输出电压为：

要满足电桥平衡条件，必须有对比积相等，邻臂比相等。

I0=0;U0=0；R1R4=R2R3；R1/R2=R3/R4

电桥电压灵敏度U0=Ku·∆R/R1  Ku=n/(1+n)²·E   dKn/dn=(1-n²)/(1+n)⁴=0

1.电桥的电压灵敏度 Ku 越大，电桥输出电压越大，Ku 与电桥电源 E 成正比，但供电受应变片允许功耗限制；2.Ku是桥臂比n的函数，恰当选择桥臂比可提高电压灵敏度；显然 n=1、R1=R2、R3=R4 时 Ku 有最大值。

单臂工作片的电桥输出电压及电压灵敏度分别为U0=E·∆R1/4R、Ku=E/4

非线性误差补偿 U0=E[(R1+∆R1)/(R1+∆R1+R2-∆R2)-R3/(R3+R4)]

实际电路中非线性误差总是存在的，为减小非线性误差，常采用差动电桥。

按等臂电桥：R1=R2=R3=R4=R5 ∆R1=∆R2=∆R

半桥电路电压输出和电压灵敏度分别为U0=E·∆R/2R、Ku=E/2

半桥电路讨论：1. 输出电压U0 与△R/R呈线性关系，无非线性误差；2.半桥电路（两工作片）电压灵敏度Ku是单臂电桥的两倍；3.同时电路具有温度补偿作用。

传统电容式传感器用于位移、角度、振动、加速度机械量精密测量。

目前电容式传感器逐渐应用于压力、压差、液面、成份含量方面的测量。

应用实例（电容测深度、角度）液位测量、角度测量

电容式传感器的特点：电容器容量小，输出阻抗高;极板静电引力小，工作所需作用力很小；可动质量小，固有频率高，动态响应特性好；功率小，本身发热影响小；可以进行非接触测量。

电容传感器工作原理可以用平板电容说明：

极板面积·介电常数/极板距离

真空介电常数·空气介质的相对介电常数·极板面积/极板距离

电容式传感器分为极距型、面积型、介质型。

变极距型电容传感器灵敏度与初始极距有关 K0=∆C/C0/∆δ=1/δ0

提高传感器灵敏度K0应减小初始极距δ0但初始极距受电容击穿电压限制；初始极距δ0与灵敏度相矛盾，变极距型电容传感器适合测小位移；非线性误差随相对的位移的增加而增加，为保证线性度应限制相对位移，限制了测量范围

为提高灵敏度和改善非线性，一般采用差动结构。

变面积型变面积式电容传感器灵敏度k0 为常数；

输出特性为线性关系；适合大位移测量；可实现直线位移、角位移测量。

电容传感器的等效电路包括:  传感器电容 C0 ；A、B两端导线分布电容 Cp， Cp> C0。传输线的电感 L0、电阻 R（小）；  极板等效漏电阻 Rg；

低频时Xc 大，L、R 可忽略；高频时 Xc 小，L、R不可忽略，

工作频率10MHz以上要考虑电缆电感L的影响，这时相当有一  LC串联电路，有一个谐振频率f0，当 f = f0时串联谐振阻抗最小，系统无法工作。

Cp>>C0,  CP+C0↑

解决的方法:屏蔽电容转换元件，消除静电场和交变磁场；前级紧靠转换元件装在同一壳体内避免信号长距离传输；驱动电缆技术，连接电缆采用双层屏蔽，内屏蔽与被屏蔽的导线的电位相同，（跟随器）使传输电缆与内屏蔽层等电位，屏蔽线上有随传感器信号变化的电压（所以称驱动电缆），从而消除芯线对内层屏蔽层的容性漏电减小寄生电容的影响。内外屏蔽之间的电容是放大器负载。（消除cp的影响）

由电容转换元件组成的变压器式交流电桥测量系统电容传感器C1、C2两个桥臂为差动形式。

输出电压与位移变化成理想线性关系U0=U·∆δ/2δ0

电感式传感器利用电磁感应定律将被测量（位移、压力、振动）转换为电感的自感或互感的变化。

电感式传感器是一种机电转换装置，特点是体积大，灵敏度高，输出信号大，在自动控制设备中广泛应用。

电感式传感器按结构可分为：自感式电感传感器、互感式电感传感器、电涡流式电感传感器、变磁阻式电感传感器

传感器结构: 铁芯、线圈、衔铁三部分组成。铁芯和衔铁之间有气隙，气隙厚度为δ0;

变磁阻式传感器又分为：变气隙厚度型（δ）、变气隙截面积型（S0）

输出特性：K0=∆L/L0/∆δ=1/δ0

传感器测量范围Δδ与灵敏度k0相矛盾;与线性度Δδ/δ0 相矛盾；

Δδ/δ0 越小高次项迅速减小，非线性误差越小，但传感器量程变小；变间隙式电感传感器用于小位移比较精确，一般取Δδ/δ0 = 0.1～0.2 ，（1～2mm/10mm）；

为减小非线性误差实际测量中多采用差动形式。

电涡流传感器是一种非接触式的线性化计量工具，在大型旋转机械状态的在线监测与故障诊断中得到广泛应用。

电涡流传感器能准确测量被测体（金属导体）与探头端面之间静态和动态的相对位移变化。

电涡流式传感器最大的特点：能够对位移、厚度、表面温度、速度、应力、材料损伤等被测量进行非接触式测量。

电涡流传感器目前主要应用于位移、振动、转速、厚度等机械量测量,另外可测材料、测温度和电涡流探伤。

电涡流效应:由法拉第电磁感应原理可知,一个块状金属导体置于变化的磁场中或在磁场中作用切割磁力线运动时，导体内部会产生一圈圈闭和的电流，这种电流叫电涡流

形成电涡流必须具备的两个条件：存在交变磁场 、金属导体处于交变磁场中

实验员小王在对加工后的应力片进行测试时，发现其灵敏度都有所下降，请分析一下应力片灵敏度下降的原因？出现这种情况如何处理？原因：1.横向效应：应力片加工时，敏感栅弯曲部分受横向应变影响，导致对应变片轴向应变不灵敏，降低灵敏系数。2.应力集中：被测部件与弹性体基底、弹性体基底与敏感栅部件通过胶黏剂连接，可能引发应变片端部应力集中，影响灵敏度。3.温度变化：外界温度变化导致胶黏剂蠕变，降低敏感系数。4.制造影响：加工和制造过程不当或材料问题可能导致应力片内部缺陷或损伤，影响灵敏度。

如何处理：1. 检查连接：确保部件与弹性体及敏感栅部件间连接牢固，无应力集中。2. 温度补偿：考虑使用温度补偿技术，如安装传感器，实时修正读数。3. 更换材料：若灵敏度下降由材料性能或老化引起，可更换应变片或改进材料。4. 重新校准：确保应变片正常使用条件下的测量精度。5. 优化安装方法：高温环境下选择合适安装方法，确保安装质量。6. 检查仪器：检查玻璃应力测量仪等仪器是否异常，并按排除方法处理。

横向效应是指当电阻丝被绕制成敏感栅后，虽然其长度保持不变，但由于其直线段和圆弧段的应变状态不同，导致敏感栅的灵敏系数K较整长电阻丝的灵敏系数K0小的一种现象。