SECS/GEM协议开发应用

1.介绍

1.1 SECS/GEM定义

SECS/GEM是由国际半导体设备与材料协会（SEMI）的会员一起构建的连接性标准。该标准应用于在设备和工厂管理系统间的通讯标准。

协议应用网站 secsgem.cn

1.2概述

1.2.1 金南瓜功能

. 支持SEMI E4(SECS I)、E5(SECS II)、E30（GEM）、E37（HSMS）通讯标准。

. 扩展支持SEMI E39、E40、E87、E90、E94、E116、E142

. 支持多开发语言 C、C++、C#、Labview、QT。

. 可选PLC与MES的软件桥接模块，无需开发。

. 采用DLL模块方式，自由添加到设备软件中。

. 提供主机EAP模拟软件，轻松自动化控制设备。

. 支持x86、x64 版本

1.2.2 概述

广州金南瓜采用优秀的软件框架，灵活支持SECS/GEM、SECS/GEM300，支持高速大量Message交互。

       稳定性是半导体的基本要求，如果设备经常出问题，工厂因为设备而导致无法生产，其后果是非常严重的。

图1

1.2.3 高扩展性

       金南瓜SECS/GEM简单便可扩展支持GEM 300，Wafer Map、Strip Map等功能，只需在已有的SECS/GEM上直接添加GEM300功能。

SECS/GEM和SECS/GEM300支持协议

1.3 SEMI标准支持

       DMS SECS/GEM强调要遵循当前的SEMI标准。

       以下清单是我们已支持的功能列表。

GEM COMPLIANCE STATEMENT
FUNDAMENTAL GEM REQUIREMENTS	IMPLEMENTED	GEM-COMPLIANT
State Models	■Yes   □No	■Yes   □No
Equipment Processing States	■Yes   □No
Host Initiated S1F13/F14 Scenario	■Yes   □No
Event Notification	■Yes   □No
On-Line Identification	■Yes   □No
Error Messages	■Yes   □No	■Yes   □No
Documentation	■Yes   □No
Control (Operator Initiated)	■Yes   □No
ADDITIONAL CAPABILITIES	IMPLEMENTED	GEM-COMPLIANT
Establish Communications	■Yes   □No	■Yes   □No
Dynamic Event Report Configuration	■Yes   □No	■Yes   □No
Data Variable and Collection Event Namelist Requests	■Yes   □No	■Yes   □No
Variable Data Collection	■Yes   □No	■Yes   □No
Trace Data Collection	■Yes   □No	■Yes   □No
Status Data Collection	■Yes   □No	■Yes   □No
Alarm Management	■Yes   □No	■Yes   □No
Remote Control	■Yes   □No	■Yes   □No
Equipment Constants	■Yes   □No	■Yes   □No
Process Program Management	■Yes   □No	■Yes   □No
Material Movement	■Yes   □No	■Yes   □No
Equipment Terminal Services	■Yes   □No	■Yes   □No
Clock	■Yes   □No	■Yes   □No
Limits Monitoring	■Yes   □No	■Yes   □No
Spooling	■Yes   □No	■Yes   □No
Control (Equipment-Initiated)	■Yes   □No	■Yes   □No

1.4 消息集

Stream	Function	Message Name	Description
Sx	F0	Abort Transaction	H <--> E
S1	F1	Are You There Request	H <--> E
S1	F2	On Line Data	H <--> E
S1	F3	Selected Equipment Status Request	H --> E
S1	F4	Selected Equipment Status Data	H <-- E
S1	F11	Status Variable Namelist Request	H --> E
S1	F12	Status Variable Namelist Reply	H <-- E
S1	F13	Establish Communications Request	H <--> E
S1	F14	Establish Communications Request Acknowledge	H <--> E
S1	F15	Request OFF-LINE	H --> E
S1	F16	OFF-LINE Acknowledge	H <-- E
S1	F17	Request ON-LINE	H --> E
S1	F18	ON-LINE Acknowledge	H <-- E
S1	F21	Data Variable Namelist Request	H --> E
S1	F22	Data Variable Namelist	H <-- E
S1	F23	Collection Event Namelist Request	H --> E
S1	F24	Collection Event Namelist	H <-- E
S2	F13	Equipment Constant Request	H --> E
S2	F14	Equipment Constant Data	H <-- E
S2	F15	New Equipment Constant Send	H --> E
S2	F16	New Equipment Constant Acknowledge	H <-- E
S2	F17	Date and Time Request	H --> E
S2	F18	Date and Time Data	H <-- E
S2	F23	Trace Initialize Send	H --> E
S2	F24	Trace Initialize Acknowledge	H <-- E
S2	F29	Equipment Constant Namelist Request	H --> E
S2	F30	Equipment Constant Namelist	H <-- E
S2	F31	Date and Time Set Request	H --> E
S2	F32	Date and Time Set Acknowledge	H <-- E
S2	F33	Define Report	H --> E
S2	F34	Define Report Acknowledge	H <-- E
S2	F35	Link Event Report	H --> E
S2	F36	Link Event Report Acknowledge	H <-- E
S2	F37	Enable/Disable Event Report	H --> E
S2	F38	Enable/Disable Event Report Acknowledge	H <-- E
S2	F41	Host Command Send	H --> E
S2	F42	Host Command Acknowledge	H <-- E
S5	F1	Alarm Report Send	H <-- E
S5	F2	Alarm Report Acknowledge	H --> E
S5	F3	Enable/Disable Alarm Send	H --> E
S5	F4	Enable/Disable Alarm Acknowledge	H <-- E
S5	F5	List Alarms Request	H --> E
S5	F6	List Alarm Data	H <-- E
S5	F7	List Enabled Alarm Request	H --> E
S5	F8	List Enabled Alarm Data	H <-- E
S6	F1	Trace Data Send	H <-- E
S6	F2	Trace Data Acknowledge	H --> E
S6	F11	Event Report Send	H <-- E
S6	F12	Event Report Acknowledge	H --> E
S6	F13	Annotated Event Report Send	H <-- E
S6	F14	Annotated Event Report Acknowledge	H --> E
S6	F15	Event Report Request	H --> E
S6	F16	Event Report Data	H <-- E
S6	F17	Annotated Event Report Request	H --> E
S6	F18	Annotated Event Report Data	H <-- E
S6	F19	Individual Report Request	H --> E
S6	F20	Individual Report Data	H <-- E
S6	F21	Annotated Individual Report Request	H --> E
S6	F22	Annotated Individual Report Data	H <-- E
S7	F1	Process Program Load Inquire	H <--> E
S7	F2	Process Program Load Grant	H <--> E
S7	F3	Process Program Send	H <--> E
S7	F4	Process Program Acknowledge	H <--> E
S7	F5	Process Program Request	H <--> E
S7	F6	Process Program Data	H <--> E
S7	F17	Delete Process Program Send	H --> E
S7	F18	Delete Process Program Acknowledge	H <-- E
S7	F19	Current EPPD Request	H --> E
S7	F20	Current EPPD Data	H <-- E
S9	F1	Unrecognized Device ID	H <-- E
S9	F3	Unrecognized Stream Type	H <-- E
S9	F5	Unrecognized Function Type	H <-- E
S9	F7	Illegal Data	H <-- E
S9	F9	Transaction Timer Timeout	H <-- E
S9	F11	Data Too Long	H <-- E
S9	F13	Conversation Timeout	H <-- E
S10	F1	Terminal Request Acknowledge	H <-- E
S10	F2	Terminal Request Acknowledge	H --> E
S10	F3	Terminal Display, Single	H --> E
S10	F4	Terminal Display, Single Acknowledge	H <-- E

1.5 通讯实现

       对于传统实现， SECS/GEM将接口公布给工厂，如下图所示。

图2

1.6 灵活性

JNG SECS/GEM支持大量扩展接口，允许客户自定义处理SECS-II消息。

例如

处理非标准内的S2F65、S2F66消息。

发送一些客户的非标准S6F3消息的消息。

1.7 性能

项	项目	指标
1	语言	C、C++、C#、Labview、VB
2	平台	PLC、Window、嵌入式
3	变量数	无限制
4	事件数	无限制
5	警报数	无限制
6	消息交互	100条/秒
7	最小耗时	3ms /交互
8	平均耗时	10ms /交互
9	最低CPU	J1800、Atom E3930
10	建议CPU	J4125、奔腾、I3及以上
11	建议内存	4GB及以上

1.8 无需学习SECS

       1. 用户无需学习SECS/GEM，我们指导和讲解用户所需的知识。让用户轻松无需关心SECS/GEM相关内容。

       2. 我们与用户一起设计设备的SECS交互处理流程。

       3. 绝大部分SECS/GEM标准都在DMS SECS/GEM中实现，软件应用程序只需最少的编码就能完成SECS/GEM通讯。

1.9 自定义消息传递

       DMS SECS/GEM完全支持构建，发送，接收和解析任何SECS-II消息，但用户几乎无需处理SECS-II消息。

1.10 记录收集

       轻松收集低级调试信息，例如DMS SECS/GEM的HSMS、SECS-II协议消息发送和接收的消息，以及状态更改。

      

1.11 SECS Manual文档

. 我们提供一份SECS Manual文档。

. 资料包含设备SECS/GEM的各项指标，使用标准协议以及实现等内容。

. 用户根据SECS Manual便可自行测试和使用设备。

1.12 产品清单

1. 二次开发的SECS/GEM SDK

2. 示例程序代码（各项功能使用示例）

3. 开发流程手册

No	清单
1	SECS/GEM Driver	设备与服务器对接的运行Driver
2	示例程序代码	包含SECS/GEM的各项功能使用示例
3	开发手册资料	设备的详细开发使用书，使用SECS细节
4	secs simulator	模拟SECS的SxFy操作
5	金南瓜特有工具	帮助客户快速和灵活支持SECS/GEM

2 产品结构

2.1 控制面板

EquipView.exe设备端连接测试工具是一个图形用户界面（GUI），允许用户在其基础上在次开发或者调用工具进行显示内容。运行图图3

图3

2.2 使用环境

① Windows XP

② Windows 7

③ Windows 10

④ Windows Server 2008

⑤ Windows Server 2012

⑥ Windows Server 2016

2.3 软件开发包

① Microsoft Visual Studio 2010

② Microsoft Visual Studio 2012

③ Microsoft Visual Studio 2013

④ Microsoft Visual Studio 2015

⑤ 其他：VC6、VS2005、VS2019等

2.4 程序设计语言

① Microsoft Visual C

       ② Microsoft Visual C++

③ Microsoft Visual C#

       ④ Ni Labview

2.5 SECS/GEM手册

       SECS/GEM标准要求设备供应商创建描述SECS-II接口和GEM实施的GEM手册（文档）。该模板使创建SECS/GEM接口手册变的非常容易，并缩短了完成SECS/GEM接口所需的总时间。

2.6 运行许可

       每台设备只需一套运行许可，运行许可无需。

2.7 功能配置

       通过配置软件轻松配置各项功能和参数。

3 产品功能支持

3.1 GEM接口

SECS/GEM标准为标准工厂自动化提供了框架，从远程主机监控和控制设备。

DMS SECS/GEM已经将各项功能内置和集成到模块当中，用户只需启用或使用所需的功能。

图4

3.2.采集事件

SECS/GEM接口定义机器的事件。 当设备的状态发生改变，将以事件的形式通知主机。

用户调用EventPost接口即可将设备警报通知给MES。

3.3 警报

SECS/GEM接口定义机器的报警。 设置警报时，表示设备发生特定危险事件。警报清除时，表示操作员已确认情况或问题已清除。

用户调用AlarmSet即可将设备警报通知给MES。

3.4终端服务

主机和设备可以使用终端服务为设备操作员交换文本信息。

3.5数据收集

GEM接口定义变量。 变量可以提供重要的机器数据，例如完成的循环次数，总错误，材料ID等信息。

3.6 跟踪数据采集

       主机可以将设备设置为以指定的频率自动报告状态变量。

       该功能已经内置集成在内部，当MES通知设备Trace Data时，金南瓜将主动定期上报数据。

3.7 事件报告

       主机可以将计算机配置为在发生指定的收集事件时自动在报告中发送变量值。

       该功能无需用户关心和配置，金南瓜已经内置集成在内部。

       允许用户自定义或者EAP、MES动态配置

3.8过程程序管理

处理程序管理提供了在主机和设备之间传输处理程序（也称为recipe）的方法。

金南瓜为客户提供最简单的方法，用户无需关心如何上传、下载、删除等管理程式。

3.8设备控制和配置

GEM允许主机使用远程命令和设备常量来控制和配置机器。

3.8.1远程命令

GEM接口定义一组远程命令，使得服务器可以远程控制设备。

3.4.2设备常数

每个GEM接口定义一组GEM所需的常量和一组唯一的机器特定常量。设备常量可以配置设备软件和硬件的行为。

4 高级功能

4.1 WaferMap

       由于功能实现困难，国内基本没供应商有能力实现该功能，而我们已经实现提供给终端使用。

Wafer Map 和Strip Map上传下载，在固晶机器和点测设备属于重要的功能。点测设备将测量结果通过Map报告测量结果，固晶机器通过Wafer Map获知需要提取的颗粒。

符合标准E39、E142要求和规范。

Wafer Map

Strip Map

5 HSMS

5.1高速SECS消息服务（HSMS）为独立的制造商提供了一种方法，使他们可以实现可相互连接和互操作的实现，而无需彼此之间有特定的知识。

5.2 HSMS旨在作为SEMI E4（SECS-I）的替代产品，用于需要高速通信或简单的点对点拓扑不足的应用中。 SEMI E4（SECS-1）仍可用于不需要HSMS的这些和其他属性的应用中。

5.3 HSMS还可以替代SEMI E13（SECS消息服务），用于TCP / IP优先于OSI的应用。

5.4 HSMS旨在由附属标准补充，这些附属标准进一步规定了其使用细节或对其在特定应用领域中的使用施加了限制

6 SECS I

6.1 修订历史——这是自 1980 年 SECS-I 最初发布以来的第一次重大修订。SECS-I 的最初意图几乎没有改变，尽管有一些重要的补充。 附录 1 中总结了这些变化。本规范是与日本电子工业发展协会设备通信委员会 12 合作制定的。

6.2 意图——本标准为独立制造商提供了一种生产设备和/或主机的方法，这些设备和/或主机可以在不需要彼此特定知识的情况下进行连接。

7 GEM

7.1 GEM为所有半导体制造设备定义了SECS-II的标准实施。 GEM标准定义了一套通用的设备行为和通信功能，可提供支持半导体设备制造商制造自动化程序的功能和灵活性。 设备供应商可提供未包含在GEM中的其他SECS-II功能，只要附加功能不与GEM中定义的任何行为或功能冲突即可。 此类添加可能包括SECS-II消息，收集事件，警报，远程命令代码，处理状态，可变数据项（数据值，状态值或设备常量），或类别特有的其他功能（蚀刻器，步进器等） 。）或特定设备实例。

7.1.1 GEM旨在为设备制造商和设备供应商带来经济效益。 设备供应商受益于开发和销售满足大多数客户的单一SECS-II接口的能力。 设备制造商受益于所有制造设备中SECS-II接口的增强功能和标准化。 这种标准化降低了设备供应商和设备制造商的软件开发成本。 通过降低成本和增加功能，设备制造商可以更快，更有效地实现半导体工厂的自动化。 GEM标准提供的灵活性还使设备制造商能够在通用的行业框架内实施独特的自动化解决方案。

7.1.2 GEM标准旨在指定以下内容：

1.半导体制造设备在SECS-II通信环境中展示的行为模型，

2.半导体制造环境中所需的信息和控制功能的描述，

3.半导体制造设备基本SECS-II通信能力的定义，

4.当SECS-II提供多种可能的方法时，一种一致的完成操作的方法，以及实现有用通信功能所必需的标准消息对话。

7.1.3 GEM标准包含两类要求：

1.基本的GEM要求和

2.额外GEM功能的要求。

7.1.4 GEM基本要求构成了创业板标准的基础。额外的GEM功能提供某些类型的工厂自动化所需的功能或适用于特定类型设备的功能。有关GEM基本要求和其他GEM功能的详细列表。

7.1.5设备供应商应与其客户合作，确定应为特定类型的设备实施哪些额外的GEM功能。 由于GEM标准中定义的功能是专为满足半导体制造商的工厂自动化要求而开发的，因此预计大多数设备制造商将需要适用于特定类型设备的大多数GEM功能。 由于工厂自动化策略的不同，一些设备制造商可能不需要所有GEM功能。

8 细节

SECS/GEM是由国际半导体设备与材料协会（SEMI）制定的连接性标准。此连接性标准用于在设备和工厂的资讯和控制系统间建立通讯。

SECS是SEMI设备通讯标准的缩写。GEM指SEMI连接性标准E30，被定义为制造设备实现通讯和控制的一般模型。

一般来说，SECS/GEM标准定义了信息、状态机和情境，来让工厂软件能够控制并监视制造设备。正式名称是SEMI连接性标准E30。

在实现SECS/GEM标准的工厂内，存在主机和设备这两方。由设备在其中一台必须实施和遵守SEMI E30标准的计算机上运行软件。由制造商（工厂）运行与设备接口建立通讯的主机软件。

主机无需遵守完整的连接性标准，因为它只设定设备的预期行为。不过，若要使用接口，主机必须进行主机端通讯。SECS/GEM为每条可能的主机信息设定了清晰的设备预期行为。

通讯

SECS/GEM SEMI连接性标准定义了主机和设备开始建立通讯的方式，并且还定义了当通讯中断时重新建立通讯的方式。在线识别方法负责验证设备的硬件和软件标识。终端服务功能允许主机操作员和设备操作员在控制台上交换手动输入的文本。

控制

SECS/GEM SEMI连接性标准概括了主机与设备操作员之间的合作等级的控制状态模型。设备提供三种基本的主机控制等级：离线，在线/本地，以及在线/远程，确定了主机控制和监控设备的能力。设备操作员设定主机控制的等级。远程控制功能允许主机发送诸如“启动”、“停止”、“暂停”、“继续”和“中断”这样的指令，用以控制设备的工作过程。

运作通知

收集事件和警报功能使主机能监控设备的运作情况。设备收集事件功能会将重要的正常活动和异常活动通知主机。当潜在的危险活动出现并随后被清除时，设备警报功能会通知主机。主机设定哪些收集事件和警报需要通知。SECS/GEM连接性标准要求特定的事件必须有通知，但一般会给设备定义额外的事件，以便主机监控具体设备相关的活动。