VCSEL 是通过将光学腔内的增益区域与两个高反射 DBR 组合以形成垂直谐振器来构建的。另外还包括有源区及衬底等部分组成。它的出射光束为圆形,发散角小,具有易实现单纵模、低阈值电流工作,器件热效应小,可靠性好,寿命长等特点。其结构图如下所示:
由于VCSEL垂直腔面的结构特点,导致它的纵向和横向尺寸存在较大差别,即器件的纵向尺寸较小,纵模间隔较大。虽然VCSEL被认为是工作在单纵模状态,但在实际测量过程发现VCSEL激光器光谱主峰由多个相距很近的峰组成,如下图所示。
器件的横向尺寸相对较大,模式限制较弱,其中存在多个横模。类似于多模光纤相对于单模光纤,横向限制较小。光场在多模光纤中传播时,除了有基横模外,还激发出高阶横模。
VCSEL激光器谐振腔中光场与多模光纤中相似,由于横向限制较小,激发出高阶横模,其传播路径与基膜略有差别。
而在激光器谐振腔中,谐振波长为:
波长=2nL
其中L为光波在谐振腔中行进的单程距离。高阶横模与基模在传播路径上存在小差异,所以导致激射波长出现小差异,这就解释了VCSEL激光器光谱出现多个相距很近的峰。所以VCSEL激光器为单纵模多横模激光器。
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