PFA容量瓶在半导体晶圆化学机械抛光中的用处是什么？

PFA容量瓶又称可溶性聚四氟乙烯容量瓶、特氟龙容量瓶容量瓶，有螺纹和插口两种可供选择，常用有10ml、25ml、50ml、100ml、250ml、500ml、1000ml规格

Teflon系列PFA容量瓶是一个透明的长颈瓶，瓶体为梨形，便于摇荡液体和刷洗。每一个PFA容量瓶上的刻度线都是用千分之一的电子天平称量、标注。

广泛用于ICP-MS、ICP-OES等痕量分析以及同位素分析等实验包括环境监测，半导体、多晶硅、光伏电子 锂电池行业均适用。各类检测实验室中，PFA材质性能好，不会影响试验样品的纯净度。半导体化学机械抛光中常用于配置清洗液蚀刻液。

作为半导体行业中常用材质，那么PFA容量瓶的特点有哪些呢？

1.良好的透明性，稳定，肉眼可以看到瓶内容积平滑的表面，瓶内外壁平滑，易于清洗，不粘附样品，瓶口瓶内壁处不容易有液体残留；

2.瓶口和瓶盖密封很好，配套的螺纹盖紧密，倒置或侧放液体都不会渗漏；

3.耐强酸、强碱、王水、各种实验室常用强腐蚀酸和各种有机溶剂；

4.低本底低析出：无溶出和析出，本底低可达到ICPMS的低检测限，是储存标准物质、强腐蚀性、昂贵超高纯试剂的器皿；

5.耐高低温：使用温度-200～+260℃；

6.防污染：金属元素值低，其中的金属元素例如铅、铀含量小于0.01PPb；