超纯水制备

工艺选择

EDI出水+抛光树脂

工艺原理

阴阳离子吸附制备超纯水

半导体行业超纯水制备

超纯水通常指的是电阻率能够达到18 MΩ*cm的水，是既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。

起初是美国科技界为研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，如今已广泛应用在生物、医药、汽车等领域。

半导体行业中的超纯水，又名UP水，主要是半导体原材料生产加工、检测和半导体器件的制备用水。电子元器件对超纯水使用水质要求高。市场环境变化使得元器件尺寸缩小与精细度上升，使得超纯水水质与水量的技术指标不断提升。

超纯水制备主要包括以下三个阶段，即初步吸附过滤阶段、反渗透净化阶段和树脂离子交换阶段。

其中，离子交换即是将水中的正离子与离子交换树脂中的H+离子交换，水中的负离子与离子交换树脂中的OH-离子交换，从而达到纯化水的目的。具体说来主要有以下步骤：

1、原水：可用自来水或普通蒸馏水或普通去离子水作原水。

　　2、预处理系统：原水箱、原水泵、杀菌剂、石英砂过滤器、活性炭过滤器、换热器、阻垢剂系统。

　　3、双级反渗透系统：保安过滤器、高压泵RO、反渗透系统。反渗透膜可滤除95%以上的电解质和大分子化合物，包括胶体微粒和病毒等。由于绝大多数离子的去除，使离子交换柱的使用寿命大大延长。

　　4、EDI系统：EDI的作用就是通过除去电解质（包括弱电解质）的过程，将水的电阻率从0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。

　　5、抛光树脂：无化学析出的核子级树脂，去除纯水中残余的微量带电离子及弱电解质，使水质达到18MΩ·cm以上。

　　6、终端超滤：能有效地去除水中的微粒、胶体、细菌、热源和有机物力。是整套系统最后的防火墙，确保产出的高纯水不受二次污染。

项目概况

根据业主具体需求，结合项目整体实际情况，采用EDI+超纯水抛光树脂工艺，灵活运用离子交换技术，利用两端电极高压使水中带电离子移动，并配合离子交换树脂加速离子移动去除，达到水纯化的目的。在这个工艺流程中，经过离子交换出水水质的高低主要取决于离子交换树脂的质量和交换柱内水与树脂的交换效率。采用超纯水抛光树脂MB-106UP，它是由核子级强酸型阳离子Tulsimer ®  T-46Li 及核子级强碱型阴离子 Tulsimer ®  A-33OH 以1:2 体积比的剂量比例 , 预先混合的混床级离子交换树脂,专门提供给超纯水系统抛光用。它具有交换容量及优越的物理特性。整个项目单罐运行，出水电导率做到了18MΩ以上，并且运行效果非常稳定。