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                                                       皮米分辨率位移干涉测量仪

精密干涉测量前沿产品及典型应用

产品名称：激光干涉仪

产品品牌：德国公司

上架时间：2018年

产品描述：激光干涉仪凭借其独特的设计原理、超高的稳定性并且可在极端环境中使用的特点，获得了全球工业设计顶级奖项之一的“iF设计奖”。

激光干涉仪分辨率高达1pm，采样速率达到10MHz，样品最大移动速度2m/s，最小激光探头为1.2mm，体积55mm×52mm×195mm。

产品应用：

1） 激光干涉仪检测纳米精度位移台

2）激光干涉仪组建高精度X射线显微镜

3）激光干涉仪无损探测轴承误差

4）激光干涉仪校正极低温非线性扫描

5）精密仪器制造、角度测量以及同步辐射光路准直等领域。

客户单位：德国激光干涉仪在国内已经拥有清华大学、天津大学、中国计量科学院、中科院高能物理研究所、中科院应用物理研究所、南方科技大学等用户，并在国际上受到广泛青睐，用户包括哈佛大学、斯坦福大学、耶鲁大学等顶级科研单位。

应用案例1：

坐标测量机被用于产品质量控制，测量磨损，制造精度，产品形貌，对称性，角度等工业产品参数，需要非常高的移动精度，才能确保测量的准确性。德国公司推出的皮米精度位移测量激光干涉仪就是辅助坐标测量机提高测量精度的有力手段。

通常坐标测量机要求探测臂位移精度高于1微米，只凭借龙门处位置变化来判断真实的位移反馈是不准确的，影响到实际样品的测量精度。

                                                  

激光干涉仪集成到坐标测量机上。

激光干涉仪通过非接触式方法测量，可实现高精度测量。如图3，激光探头位于坐标测量机侧边，干涉仪能够实时测量该探测臂的位移以及振动等信息。       

                                                

实时位置测量软件WAVE测量数据。扩展图为中间区域的数据放大。

如图4，坐标测量机的运动数据被测量并记录，中间时间的数据看似没有变化，探测臂实际进行了10微米的步进运动，而在步进的末尾，也有小幅的位置噪音，这对于探测样品位移以及振动信息具有重大意义。

原理分析：德国公司的干涉仪未透露产品的技术信息。据理论推测直接采用经典干涉方式很难达到皮米级精度，其技术中应该采用了光学滤波等技术并且是在全光纤中实现。

                                                              干涉仪原理分析