干涉测量——干涉仪常见7种类型汇总

最新推荐文章于 2025-04-24 19:54:05 发布

sonnet00

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分类专栏：光学量测文章标签：笔记

本文链接：https://blog.csdn.net/sonnet00/article/details/138460633

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本文介绍了干涉仪的基本概念，包括牛顿干涉仪、等厚干涉（如牛顿环）、菲索干涉仪、迈克尔逊干涉仪等，强调了它们在测量精度、应用领域的特点。此外，还提及了泰曼格林干涉仪、马赫曾德干涉仪和光纤传感的瑞利干涉仪。

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干涉仪利用光的相干性，通过干涉原理对目标进行探测，具有高精度、高灵敏度、非接触等特点。这里主要汇总一些常见的类型的干涉仪，介绍其基本信息。一些特殊的干涉仪（如剪切干涉仪）会在之后介绍。

干涉仪	原理	特点	应用
牛顿干涉仪 Newton	等厚干涉通过牛顿环计数确定光程差	用于圆形透镜两个光学表面接触或间隙很小对光源准直要求不高	测透镜曲率半径或波长透镜抛光质量检测
菲索干涉仪 Fizeau	等厚干涉	两个光学表面间隙可以较大需要高精度的参考光学平板	测量光学平面球面曲率半径测量球面面型误差测量
迈克尔逊干涉仪 Michelson	分振幅型干涉测量与参考臂的干涉信号变化	可使用白光光源需补偿板	测位移、振动等长度标准定义相干光成像引力波探测（LIGO）
泰曼格林干涉仪 Twyman-Green	分振幅型干涉测量与参考臂的干涉信号变化	使用单色点光源无需补偿板	检验平行玻璃板检测棱镜、透镜和球面镜
马赫曾德干涉仪 Mach-Zehnder	分振幅型干涉	稳定性差系统复杂，调节难定域位置可任意调节	测量气体折射率、密度风洞中任一平面的空气涡流光纤传感
瑞利干涉仪 Rayleigh	杨氏双缝干涉	结构简单稳定无分光板	气体、液体折射率测量
法布里珀罗干涉仪 Fabry-Perot	多光束干涉	条纹更细、容易分辨	光谱测量光谱滤波