激光干涉仪可以完成哪些测量：全面应用解析

在高端制造领域，精度是衡量产品质量的关键指标之一。激光干涉仪作为一项高精度测量技术，其应用广泛，对于提升产品制造精度具有重要意义。

线性测量：精确定位的基础

激光干涉仪采用迈克尔逊干涉原理，实现线性测量。该原理通过激光束的分光与反射，形成干涉条纹，进而测量物体的位移。线性测量的应用包括机床、三坐标测量机等设备的定位精度、重复定位精度以及反向间隙的测量与分析。

角度测量：转动精度的守护者

角度测量是激光干涉仪的另一项重要功能。通过测量反射光的光程差，干涉仪能够精确地得出角度值。这项技术广泛应用于测量运动轴的角摆和转轴的旋转角度，如直驱电机的旋转角度测量。

直线度测量：确保平直无误

直线度测量是评估物体直线性的重要手段。激光干涉仪通过测量移动过程中产生的横向或纵向位移，来确定物体的直线度。这项功能特别适用于导轨等部件的直线度检测。

平行度与垂直度测量：空间几何的精确控制

平行度和垂直度测量是激光干涉仪在二维和三维空间中的扩展应用。通过两组直线度测量，干涉仪能够计算出平行度和垂直度误差，这对于确保机械部件在空间中的精确定位至关重要。

平面度测量：表面平整性的检测

平面度测量利用“对角法”在平面上进行角度测量，通过软件算法将角度变化转换为平面上的高度变化，从而评估整个平面的平整性。这项技术对于大理石平台等平面度要求高的场合尤为重要。

回转轴测量：旋转精度的评估

激光干涉仪结合WR50自动精密转台，能够实现回转轴的高精度测量。这种测量方式不仅能够评估轴的旋转精度，还能够通过偏心轴测量附件，对那些难以直接安装在轴心的部件进行测量。

动态测量：运动性能的全面分析

动态测量是激光干涉仪的高级功能之一。通过动态测量软件，干涉仪能够对机器运动进行位移、速

度、加速度、振幅和频率的分析，这对于评估机器的运动控制性能和振动特性至关重要。 结语

激光干涉仪以其高精度、多功能的特点，在精密测量领域发挥着重要作用。无论是线性、角度、直线度、平行度、垂直度、平面度还是回转轴的测量，激光干涉仪都能够提供可靠的数据支持，帮助制造商提升产品质量，确保精密制造的高标准。随着技术的不断进步，激光干涉仪的应用领域将更加广泛，为高端制造贡献更多力量。