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1 压力传感器简介
1.1 组成
压力传感器由三部分组成:
- 敏感元件。直接感知被测量并输出与压力有一定关系的其他量的元件(即弹性体,比如弹簧、梁、波纹管、膜片等)
- 转换元件。将敏感元件的输出转换成后续电流处理的功率输出(应变片、压电晶体、电容等)
- 信号处理电路。转换元件输出的信号进行放大、滤波、,供后续处理
1.2 分类
根据敏感元件和转换元件的不同,压力传感器可以分为应变式、压阻式、电容式、压电式、振频式、光电式、光纤式、超声式。常用的有以下四种:
- 应变式压力传感器。应变式压力传感器主要通过测量弹性元件应变来测量压力的传感器。根据制作材料的不同,应变元件分金属及半导体。当导体与半导体材料出现机械变形时,其电阻值会发生变化。
- 压阻式压力传感器。压阻压力传感器是采用单晶硅材料的压阻效应及集成电路制作而成的传感器。单晶硅材料受到力的作用,电阻率会出现变化,此时通过测量电路,正比于力变化的电