1 X射线产生原理
X光子是由高能电子撞击靶材料所产生(动能转化为电磁辐射),X射线的能量单位为ev,1ev=1.602E-19J,即一个电子经过1V电压加速后具有的动能。由电磁波能量计算公式推出X光子能量计算公式
,如波长为10nm的X光子能量为124eV。
高速电子与靶材料相撞时,主要有下图a、b、c三种作用类型,a、c中高速电子与原子核作用,通过轫致辐射产生X光子,对于a,高速电子靠近原子核,由于正负电荷之间的相互作用,高速电子减速并发生偏转,此过程中产生X射线,射线能量由相互作用的逐步增强而逐渐增大,因此此过程会产生的X光子覆盖了光谱的整个能量范围。而c中,高速电子直接撞击原子核,全部能量都通过轫致辐射产生X光子,这类相互作用产生的X射线能量为X射线能量谱的上限,这类碰撞发生的概率很低。b中主要通过高速电子与靶原子的内层电子发生碰撞,通过特征辐射产生X光子。图中X光谱中的特征峰即为此过程所产生。 特征X射线的能量为波尔原子模型中两个壳层结合能之差,如钨的K、L、M和N层结合能分别为70keV、11keV、3keV和0.5keV,当一个K层电子被释放,且空穴被一个L层电子填充,产