集成双极型管
NPN型管
在制造集成电路时,需将各个元件相互绝缘。利用PN结反向偏置时电阻很大的特点,把各元件所在N区或P区四周用PN结包围起来,便可使它们互相绝缘,称这个N区或P区为隔离岛。在基片上经过氧化、光刻、腐蚀、扩散、外延至氧化等重复过程,即可制造出隔离岛。下图所示为集成电路制造过程中的剖面,中间的N区为隔离岛,它的两侧
P
+
P^+
P+区为隔离槽。
利用上述的工艺过程在隔离岛中首先职责出基区,然后制造发射区和集电区,最后制造各极引出窗口,就成为NPN型管,如下图所示。
PNP型管
PNP型管有衬底PNP管和横向PNP管,其结构如下图所示,衬底PNP管以隔离槽为集电极,是纵向管,即载流子从发射区沿纵向向集电区运动。由于可以准确控制基区的厚度,所以
β
\beta
β值较大。但由于隔离槽只能接在整个电路电位最低端,所以应用的局限性很大。
横向PNP管的载流子从发射区沿水平方向向集电区运动,故称横向管。由于制造工艺所限,基区较厚,所以 β \beta β值很小,仅为2 ~ 20倍。但其发射结和集电结耐压较高,因而可利用横向PNP管和纵向NPN管复合而成既有足够大的电流放大系数又耐压较高的管子,从而构成各方面性能俱佳的放大电路。
其他类型晶体管
在制造NPN型管时,若做多个发射区,则得到发射极管,其结构与符号如下图所示。这种管子广泛用于集成数字电路。
在制作横向PNP型管时,若作多个集电区,则得到多集电极管,各集电极电流之比决定于对应的集电区面积之比,其结构与符号如下图所示。这种管子多用于集成放大电路中的电流源电路。
集成电路中普通NPN型管的基区宽度为0.5 ~ 1um,若将基区做得很薄,厚度只有0.1 ~ 0.2um,则得到超
β
\beta
β晶体管。它的基极电流很小(如小于10nA)时,
β
\beta
β可达上千倍,但其反向击穿电压很低,为
U
(
B
R
)
C
B
O
U\tiny (BR)CBO
U(BR)CBO 10 ~ 20V,为
U
(
B
R
)
C
E
O
U\tiny (BR)CEO
U(BR)CEO 5 ~10V,这种管子常用于高精度集成放大电路的输入极。
集成单极型管
集成MOS管的结构与分离元件MOS的结构完全相同,这里不在赘述。在集成MOS电路中,常采用N沟道MOS管与P沟道MOS管组成的互补电路(简称CMOS电路),其结果与电路如下图所示。电路功耗小、工作电源电压范围宽、输入电流非常小、连接方便,是目前应用广泛的集成电路之一。