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在SECS(Semiconductor Equipment and Materials International,半导体设备和材料国际)通信标准中,几个术语Event ID、Report ID 和 VID 有不同的含义,它们是用来定义和组织数据传输结构的标识符:
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Event ID (CEID) - Collected Event ID: 这个ID用于标识特定的事件类型,比如设备报警、状态变化或者某个生产周期的结束等。当设备产生一个事件时,会将其与一个唯一的Event ID关联,这样主机系统可以理解发生的特定事件是什么。
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Report ID (RPTID): 报告ID是SECS-II消息框架的一部分,它用来定义不同类型的数据报告。不同的Report ID对应不同的数据集合或报告格式,如设备状态报告、生产数据报告等。
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Variable ID (SVID / VID / ECID): 在SECS-II消息中,Variable ID用于标识设备状态变量或设备常量的具体信息:
- SVID: 设备状态变量ID,用于描述设备当前状态的参数,如温度、压力、产量等。
- ECID: 设备常量ID,可能指的是设备固有的配置信息或其他不变的特性参数。
- VID: 变量ID,一般泛指上述的状态变量或常量ID,具体语境下指向设备可报告的不同变量。
这些ID在SECS通信中起到关键作用,帮助双方准确地识别和解析传递的信息内容,确保半导体制造过程中的设备自动化控制和数据采集的有效进行。
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