今年准备写的文章

1.纯石墨烯,从结构上下文章,纯仿真,或者是超材料,或者是那个法布里珀罗腔金属三明治结构。
2.黑磷量子点,和石墨烯结合,还是有很多可以分析的内容,比方说量子点的基本性质,光谱,从而反向推出团簇的厚度,与AFM相比对。石墨烯结合后的光响应,响应率的高低由什么影响,在各个波长会不会差别很大,与PL光谱有什么关系。
3.对数周期天线,石墨烯。先ebl走起,镀膜,源漏电极制作完成。第二次ebl,需要刻出一个足够大的框,覆盖源漏电极,ald沉积绝缘层。第三次ebl,制作栅极,搞定。之后目前还没想好,做出器件后的后续工作。
4.低温量子点,这个需要面积比较大的石墨烯,所以要刻蚀。先刻蚀,再用金属掩模镀膜,也就有了大致的金属标记,虽然对不准,也能凑活用。利用金属标记做ebl,如果要求电子掩模是负片,同时还要有精确的对准标记,这个很难实现。如果是正片,光刻后要先沉积金属,再刻蚀,再ebl做pad,最后把中间剩下的量子点孤岛上的金属去掉,可行。
用氧等离子体打了一下石墨烯,即使有金属掩膜保护,石墨烯依然被去得干干净净。先刻蚀这个想法是有问题的。目前的想法是,先在买来的CVD石墨烯上面做对准标记,然后进行ebl。ebl要做电极,电极要连起来,中间一个位置粗一点,用lift-off工艺。得到电极之后,进行金属的腐蚀来得到小一点的金属孤岛,再刻蚀掉石墨烯,最后再腐蚀掉金属。

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