SFM扫描隧道显微镜 AFM原子力显微镜
STM-scanning tunneling microscop
基于隧道效应quantum mechanics
两电极:原子细度的探针(钨丝、铂-铱合金丝) 物质表面
量度:隧道电流I----电压、功函数一定时,与距离有关
-恒电流模式
-恒高度模式
针尖
比较高的弯曲共振频率、高化学纯度
钨丝 电化学腐蚀法 铂铱合金丝 机械成形法
氧化层/杂质:I不稳、噪音大、图像不清晰----化学法清洗
三维扫描控制器 压电陶瓷材料
减震系统 底座 金属板/大理石和橡胶交叠
分辨率 水平分辨率0.1nm 纵向分辨率 0.01nm
信息种类 形貌、逸出功、电子态分布
局限性 样品要能导电
形貌、微细加工
AFM(AFM-SPM)
分辨率 水平分辨率0.15nm 纵向分辨率 0.05nm
微悬臂
接触模式、非接触式、轻敲模式