日亚和京都大学产生了第一个发射光谱绿色光子晶体表面发射激光器

通过调节光子晶体的尺寸，可以在15nm的范围内任意调节绿色发射

日亚和京都大学的合作声称已经产生了第一个发射光谱绿色部分的光子晶体表面发射激光器（PCSEL）。

来自日本的该团队发言人、同时在日亚大学和京都大学任职的田口内雄表示，由于其巨大的光束质量，绿色PCSEL具有很高的潜力。这类激光器在垂直和横向方向上产生单模操作，并将窄发散角与接近理想高斯光束的光束质量相结合。

田口表示，绿色发射PCSEL可以取代固态激光器，赢得显示器成像和生物科学等应用的部署。

PCSEL的另一个优点是，通过仔细选择光子结构的尺寸，可以非常精确地设计发射波长。

田口说：“激光波长可以任意调谐，这使我们能够通过颜色混合创造任意的颜色。”这种可调谐性不仅为显示器应用提供了宝贵的属性，还可以根据荧光染料的峰值吸收效率调整发射。

田口和他的同事开创的绿色PCSEL采用了双晶格光子晶体，以改善对激光器产生的干扰的控制。

为了形成光子晶体结构，工程师们在GaN堆叠上方沉积一层铟锡氧化物（ITO），这是一种由n型层、有源区和p型层组成的异质结构，然后使用电子束光刻和反应离子蚀刻来定义器件尺寸。通过采用这种方法，可以在最终确定光子晶格的细节之前，通过光致发光对上部结构进行光学表征。

使用等离子体CVD工艺用SiO2填充通过蚀刻产生的孔。这一步骤保护光子晶体的侧壁不受导电颗粒的影响，导电颗粒有可能导致电流泄漏并阻碍PCSEL的稳定运行。用SiO2填充空穴还增加了光子晶体层的有效折射率，导致基本模向该层的分布发生偏移，并最终增强了被引导光与光子晶体之间的耦合。

然而，请注意，添加SiO2也有一个缺点：p-GaN层和光子晶体之间的折射率对比度降低。然而，这可以通过增大光子晶体的填充因子来抵消。

在用SiO2填充孔后，该团队除去用于电极的直径为300mm的中心圆形区域之外的ITO膜，然后暴露n-GaN层，然后添加电极和抗反射涂层（PCSEL的设计见图）。

该团队的PCSEL用重复频率为1kHz的500ns脉冲驱动，在3.89kA cm-2的电流密度下产生了急剧的功率输出，并在约5A的驱动电流下提供了约50mW的最大输出。相应的壁塞效率仅为0.1%左右。

通过调整晶格的尺寸，该团队证明了它可以将发射波长从505.7 nm任意调谐到520.5 nm。

田口说，下一个目标之一是提高他们的PCSEL的壁塞效率。这将通过优化光子晶体的设计和制造来实现，以增加光子晶体层和垂直辐射的平面内耦合强度。“同时，外延层将进行优化，以降低激光阈值。”

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