SECS半导体设备通讯-3 SECS-II通信标准

一 SECS-II 概述

SECS-II 标准定义了使用如SECS-I、HSMS等传输协议在设备和主机之间交换的消息的形式和含义。

定义了以消息的形式在设备和主机之间传递信息，消息按其行为分类，称为Stream。有很多不同的行为Stream，每个Stream又包括具体的消息，称为Function。

标准还定义了消息的结构，消息由数据项和数据项列表 ( items and lists of items ) 构成。该结构允许自描述数据格式，以保证对消息的正确解释。

SECS-II还规定了事务协议，用于管理消息的交换、分块等，对SECS-II实现提出了一些最低要求。

二 Stream and Function

所有的消息按照行为分为不同的Stream，在每种Stream中再按照其功能分为Function，即一个Stream中的一个Function对应一种具体行为功能的消息。

2.1 Strem的分类

• Stream 1 Equipment Status：设备状态；
• Stream 2 Equipment Control and Diagnostics：设备控制和诊断；
• Stream 3 Material Status：原料状态；
• Stream 4 Material Control：原料控制；
• Stream 5 Exception Handling：异常处理；
• Stream 6 Data Collection：数据采集；
• Stream 7 Process Program Management：工艺程序管理；
• Stream 8 Control Program Transfer：控制程序传输；
• Stream 9 System Errors：系统错误；
• Stream 10 Terminal Services：终端服务；
• Stream 11 Host File Services (Deleted)：主机文件服务(已删除)；